“誒？怎麼，您那邊又進來了很多的新人嘛？”江夏捕捉到了聽筒裡傳來的細微嘈雜聲和議論聲，有些不解的扣扣腦袋。
以前去蘭英博士那邊的時候，研究員們可喜歡和他一起寫點歪詩了，咋今天聽到的話，有些不對勁嘞。
“唉，你呀……是不是光顧著激動，把自己寫的《半導體積體電路生產工藝流程（草案）》都給忘了？”
“啊？”江夏一愣。
蘭英博士的聲音帶著一絲調侃：“你自己說的，要做成一片能用的晶片，光有光刻機可不夠！”
“我說的嘛？”江夏掏出自己的筆記本，在上面狠翻了一陣子，“啊，想起來了。除了光刻機還有擴散爐和真空蒸鍍裝置嘛！”
“不過，後面兩個裝置我不還沒進行工藝改進的嘛？”江夏在筆記本上翻騰了一圈後喃喃自語，確認這兩個裝置他還只寫了個名稱和大致要求。
蘭英博士的話繼續傳來：“為了儘快做出第一批驗證晶片，我把能借調的人都借調來了！
某精密儀表廠負責擴散爐溫控系統的，東北器材裝置廠負責蒸鍍腔體密封的，還有材料所研究高純氣體和金屬靶材的……
實驗室都快擠成罐頭了！大家夥兒都在加班加點，就等著光刻機這邊‘畫’好圖，好接力往下做呢！”
江夏有點目瞪口呆，原想著先把光刻機理順了再去搗鼓後續的裝置，哪能想到蘭英博士她們的主觀能動性如此強悍，居然硬生生湊齊了低整合度晶片製備的“三駕馬車”！
嗯，是的。聰明的你指定發現了，這套工藝除了小呆毛說的三種主要裝置，還少了個離子注入機還有化學氣相沉積機，外加一整套的測試裝置，比如檢測晶片的電效能、信噪比、功耗等……
但是，我們的小呆毛大手一揮，把後面的幾種全給精簡了一下。
別怪他這麼“摳門”。誰不想用最好的？
離子注入的核心是將雜質離子（如硼、磷）加速到數千甚至數萬電子伏特的高能狀態，穿透矽表面實現精準摻雜。
單單是提供穩定的高能電場這一項，以目前的條件就近乎天方夜譚，更別提產生高純度離子束了。
但是！嘿嘿嘿，擴散爐可以暫時頂上！它不需要複雜的能量加速，依靠純粹的熱運動就能實現摻雜。
反正現在的晶片也就百來個電晶體，器件尺寸在微米級，對摻雜深度和濃度的誤差容忍度相對較高。熱擴散精度雖有限，但搭建早期簡單邏輯閘，夠用了！
至於化學氣相沉積？還是用擴散爐啊！雖然需要手動精細控制氣體閥門，反應生成的薄膜直接沉積在爐管內的矽片上。
滿足小規模積體電路對絕緣層和導電層的基本需求，綽綽有餘！
現在，不追求完美，只追求能用！
小呆毛的信條就是——“不求最合適，但求能使用！”
合理嗎？簡直太合理了！
“這麼說，要是光刻機上線了，那我們就能生產出晶片了？”
江夏痛苦的哀嚎。
第一枚晶片啊，想想這麼重要的時候，自己居然不能在現場，小呆毛已經悲傷的開始對著紅木桌子“梆梆梆……”
“誒！咋就不多問一嘴哪！自己對‘晶片’這塊是不是有點不上心了……”
