林景義微微點頭，沒有多餘的客套，他站在一臺反應釜旁邊，手裡拿著一份實驗記錄，袖口上沾了一小塊淡黃色的汙漬，大概是樹脂濺上去的，洗了很多次也沒洗掉。
“這裡是我們的樹脂合成實驗室，樹脂是光刻膠的核心骨架材料，決定了光刻膠的解析度、附著力和抗刻蝕效能。沒有好的樹脂，其他環節都是空中樓閣。”
他走到一臺反應釜旁邊，開啟上面的觀察窗讓大家看裡面的結構。反應釜內部是不鏽鋼的，攪拌槳靜止著，壁上有一層淡淡的褐色殘留。“目前我們的樹脂自給率大概在六成左右，剩下的四成還需要外購。”
嘉時基金的周鶴鳴往前走了兩步，他的助理跟在旁邊，筆尖已經抵在紙面上。“外購的部分主要從哪家供應商採購？供應鏈有沒有被掐斷的風險？”
林景義沒有迴避這個問題。“目前外購的樹脂主要來自日本一家中型化工企業，合作還算穩定。但風險確實存在，如果對方被要求限制出口，我們的樹脂供應就會有缺口。所以我們在同步推進自主研發，目標是兩年內把自給率提到九成以上。”
周鶴鳴點了點頭，助理在筆記本上寫了幾筆。
林景義走到旁邊一張實驗臺前面，拿起一個深棕色的小瓶子，瓶身上的標籤印著一串日文。“另外還有一個畢竟棘手的問題——光敏劑。”
“光敏劑是光刻膠裡最核心的活性成分，決定了光刻膠的靈敏度和解析度。目前光敏劑我們還無法自主生產，需要從日本供應商採購。光敏劑的合成難度比樹脂更高，分子設計、純化工藝、批次穩定性控制，每一步都是硬骨頭。我們計劃未來兩到三年內實現自主研發，但短期內還是要依賴外購。”
岡部健田聽到這裡，側過頭跟李容闕低聲交談了幾句。他的語速比在調配區時明顯快了一些，李容闕一邊聽一邊微微點頭，兩人聲音始終壓得很低。
林深在筆記本上寫下一行字——光敏劑外購是供應鏈最大風險點。寫完之後又在旁邊加了一個問號：野川對此很關注。
他抬起頭，問了一個問題。“研發團隊現在有多少人？”
“核心研發二十多人，加上工藝和檢測，大概四十人左右。”林景義回答完之後，猶豫了一下，又補了一句，“人是不多，但都是精挑細選的。去年有家上海的晶片廠想挖我們一個組長，開了雙倍的價，但他沒走。”
他說“他沒走”的時候，語氣裡有一點他自己大概都沒注意到的驕傲。
周學明站在角落裡，把實驗室牆上貼的幾張工藝流程圖拍了下來。那些圖是手繪的，合成路線用黑色記號筆標註，每個步驟的溫度區間和反應時間用紅色筆寫在旁邊，
他拍完之後湊近看了一會兒，然後回頭看了林深一眼，指了指圖上標註“光敏劑合成”的那一欄——下面只有一行虛線，旁邊手寫了幾個字：自研中，預計2-3年。
林深點了點頭，這個問題座談會上岡部一定會追問。他自己也站在那張圖前面看了一會兒。圖上的每一個箭頭、每一個溫度區間、每一行備註，都是被人一筆一筆寫上去的。有些地方塗改過，塗改液的痕跡疊了不止一層。
他能想象出那個畫面——也許是深夜，也許是週末，實驗室裡沒別人了，有人站在這裡，對著圖上的某個步驟想了很久，然後拿起筆把它改了，改完之後退後兩步看了看，覺得還是不對，又改了一次。
周學明在旁邊看他沉默了好一會兒，問了一句“林哥怎麼了”。林深收回目光，搖了搖頭。“沒什麼，走吧。”
檢測實驗室在走廊盡頭。
林景義帶大家走進去的時候，幾臺主要裝置都在運轉。膜厚測量儀的探針正在自動掃描一片樣品，螢幕上跳動著即時資料——膜厚均勻性、折射率、表面粗糙度，每一項都跟著一個即時變化的數字。
缺陷檢測儀旁邊的印表機剛吐出一張缺陷分佈圖，還帶著機器的餘溫，一個年輕的技術員把它撕下來貼在牆上的記錄板上。
林景義站在每臺裝置前面逐一介紹。
瑞銀的陳志敏站在一臺檢測儀前面，仔細看了看上面的型號標籤，然後直起身來。“你們檢測標準對標的是JSR還是TOK？
瑞銀新加坡的陳志敏站在一臺檢測儀前面，仔細看了看上面的型號標籤，然後直起身來。“林博士，你們檢測標準對標的是JSR還是TOK？”
“都測過。”林景義走到旁邊一張檢測資料對比表前面，上面列著幾組資料，“這是去年底到今年初的幾組對比資料。解析度方面跟JSR的差距更小一些，但缺陷密度跟兩家都還有差距——主要就是光敏劑批次穩定性導致的，新批次的穩定性已經在逐步改善了。”
詹姆斯·米勒用不太流利的中文開口，他的發音帶著明顯的老外風格。“樣品解析度做到多少奈米了？”
“目前實驗室能做到90奈米，產線目標是穩定在90到130奈米之間。這對ArF光刻膠來說已經能覆蓋大部分成熟製程的需求。”
詹姆斯點了點頭。“九十奈米是個不錯的起點。”
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