六月十號,荷蘭,費爾德霍芬。
asml總部東側廠區,三號潔淨車間。
範德貝爾穿了全套無塵服——鞋套,手套,面罩——從風淋室走進去。
車間長一百二十米,寬四十米,層高十二米。恆溫恆溼,溫度二十二度,溼度百分之四十五。
地面鋪的環氧樹脂,白得發亮。
六臺euv量產裝置的框架已經搭好了,銀白色骨架,管線還沒接,光學腔體空著。
生產主管漢斯·韋伯站在一號機位旁邊,手裡拿著生產進度表。
範德貝爾走過去,看了一眼進度表。
“蔡司的反射鏡組什麼時候到?”
韋伯說:“第一批六套,七月中旬交付。”
範德貝爾搖頭:“太晚了,提前到六月底。”
韋伯說:“蔡司那邊說來不及,鍍膜工序需要——”
“讓他們加班,加人,加錢。我不管怎麼幹,六月三十號之前,反射鏡組必須到。”
韋伯沒再說,記下了。
範德貝爾沿著車間走了一趟,從一號機位走到六號機位,站在最後面,回頭看了看整條產線。
九月十五號量產慶典,客戶名單已經發了——臺積電,三星,英特爾,三家ceo都確認出席。
不能延期。
範德貝爾脫了無塵服,回到辦公室。助手端了杯咖啡進來。
他沒喝。
桌上有一摞檔案,他翻到第三份——北美分公司的週報。
翻了兩頁,沒什麼事,放下了。
六月十二號,洛杉磯,上午十點。
asml北美分公司,聖何塞。
辦公樓三層,分公司負責人彼得·克萊恩正在開晨會。
會議室的門被敲了三下。
秘書推門進來,臉色不好。
“克萊恩先生,樓下來了三個人。”
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