梁景徽一身簡約工裝,眼底帶著連日攻堅後的疲憊。
卻藏著難以掩飾的滾燙光芒,手中緊緊攥著一疊厚重的技術驗收報告與裝置實測資料表。
每一頁都標註著密密麻麻的專業引數、除錯記錄、效能校驗結果。
作為華創半導體公司CEO,他算是最不被大家認可的。
因為沒有任何成就在。
很多人把梁景徽當騙子,以為他就是這樣當上子公司CEO的。
而公司也只有核心技術人才,才明白光刻機有多難。
知道梁景徽真的不容易。
過去大半年時間,他帶領數十名頂尖技術人員,隱於幕後,日夜攻堅,紮根在枯燥精密的光刻技術研發中,只為突破國外數十年的技術封鎖。
“蘇總。”
梁景徽走到辦公桌前,難掩激動,聲音都帶著一絲不易察覺的顫抖,這是技術攻堅者突破極限,圓夢時刻的由衷動容。
“驗收結果全部出來了,資料百分百達標!”
蘇誠抬眼,目光落在他手中的報告上,神色平靜,沉穩問道:“全部達標?詳細說說。”
梁景徽重重點頭,將報告平鋪在桌面,指尖精準點在核心引數欄,逐項彙報,底氣十足的說著:
“我們自主復刻研發的193nm ArF光源乾式步進掃描式光刻機,所有核心部件、光學系統、精密工作臺、對準控制系統、雷射光源模組,全部實現國產化自研自產。
無任何海外技術依賴,無任何進口零部件!
整機曝光精度、掃描穩定性、良品率、連續工作時長,全部對標海外同期商用主流裝置。
關鍵引數甚至小幅超越,經過七十二小時不間斷滿負荷實測,裝置執行穩定,線寬控制精準,完全具備量產使用條件。”
2007年的國內半導體行業,光刻機領域完全處於被卡脖子的被動局面。
國內僅有少數老舊光刻裝置,精度落後,穩定性差。
高階193nm級別光刻機完全被海外壟斷,嚴禁對華出口,技術壁壘高到近乎無法逾越。
在此之前,國內無數科研院所,國企大廠投入巨資,耗時數年攻堅,始終無法突破193nm光刻的核心技術瓶頸,只能在低端製程徘徊。
而華創,一家成立不足1年,以智慧手機出圈的民營科技公司,悄無聲息完成了國家級的技術突破。
這絕非簡單的裝置仿製,而是徹底吃透光學原理、精密機械控制、雷射光源調校、光刻工藝適配的全套底層技術,是真正意義上的國產自主可控!
梁景徽深吸一口氣,壓下心中的激動,繼續彙報後續規劃,眼神無比堅定:
“而且我們團隊在乾式機型攻堅過程中,徹底吃透了193nm ArF光源的全套技術邏輯。基於現有技術積累,193nm ArF光源浸潤式光刻機的技術路徑己經完全打通,核心難點全部攻克!”
他簡單解釋其中的技術跨度,讓蘇誠清晰知曉突破的含金量:
“乾式機型是以空氣為介質,是193nm光刻的基礎版本。
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