江城發生的小插曲,也就只有江城那幾所中學的領導和家長們在關心。
此時此刻,在千里之外的魔都。
華軒科技研發中心。
一間光學實驗室內。
「成了!我們成了!」
張默盯著電腦螢幕上跑出來的光學模擬干涉圖樣,整個人興奮異常。
他一把抓起桌上的資料報告,急急忙忙的就往總監林偉的辦公室跑去。
「林總!干涉條紋的對比度達到了我們的預期!」
他指著報告上資料說道。
「我們按照李東提出的『雙光束雷射干涉無掩模』的簡化思路,重新搭建了底層的光路模型。」
「然後再利用非偏振分光稜鏡將一束高相干性深紫外雷射分為兩束,最後透過反射鏡系統調整入射角θ。」
「當兩束相干光在塗有光刻膠的基底表面重疊時,完美地形成了駐波節點!」
「而且,我們沿著他的思路往下深挖,發現由於沒有了複雜的投影物鏡組,最讓人頭疼的球面像差被徹底消除了!我們只需要引入一個簡單的壓電陶瓷驅動的反射鏡微調機構來微調兩束光的光程差,就能實現干涉條紋的精準平移!」
張默壓著內心的狂喜。
「這不僅把投影物鏡帶來的幾十項固有像差誤差源直接歸零,還去除了配套的複雜像差即時校正模組,而且在特定週期性微納結構的曝光上,解析度直接逼近了空氣環境下的理論極限λ/2!」
林偉坐在辦公桌後,他聽著張默的彙報,心跳也有些加速。
不過他畢竟是總監,不能光聽。
所有他仔細的翻閱著報告。
「成本核算出來了嗎?」
張默點了點頭。
「初步預估,和我們之前的方案相比,李東的這個思路我們的成本下降了17%!」
17%!
這在動輒幾千萬甚至上億一臺的光刻裝置領域,是一個足以讓任何資本都為之瘋狂的數字!
林偉深吸了一口氣,閉上了眼睛。
他之前看過試卷,想過這個高中生的思路很妙,有可能落地。
但他萬萬沒想到,僅僅只用了幾天的時間,研發組就把模擬跑通了,而且還給出瞭如此驚人的成本降幅。
幾天時間啊!
他們以前攻克一個技術節點,哪怕有了明確的思路,往往也需要幾個月甚至大半年的反覆試錯和調整。
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