李東睜開眼睛。
「現在所有人都和困在『鏡片色差』裡的牛頓一模一樣！都在死磕浸沒液這個『光的傳播介質』。」
「試圖把介質的溫度波動和折射率波動降到零！」
【光影洞察】的效果在這一刻起到了作用。
李東眼裡沒有了試卷，只有一束深紫色的 ArF準分子雷射，它穿過物鏡，射入超純水中……
李東嘴角都要壓不住了。
「我根本不需要去硬控介質折射率（n）！我只要去控制光源的真空波長（λ）！」
「既然浸沒液的折射率整體變化了Δn，那我只要同步去微調光源的波長，給它一個同比例的補償Δλ。」
「只要保證(n+Δn)/(λ+Δλ)= n /λ始終成立，也就是λ和 n嚴格保持同比例變化。」
「那麼代入相位公式，新的相位φ“=2π?(n+Δn) L/(λ+Δλ)=2π?nL/λ=φ，永遠保持不變！」
更關鍵的是，這個等式與光線的入射角度和光程長度完全無關。
無論光線以多大的入射角射入浸沒液，無論它的光程是多少，只要 n和λ同比例變化，所有光線的相位都會完全保持原值，物像之間的等光程性不會被破壞。
甚至連折射率變化帶來的焦深變化，也會因為補償量極小而被抹平。
數值孔徑 NA=n?sinθ，焦深 DOF=λ/NA2。
雖然λ和 n同比例微調時 DOF物理上無法做到絕對恆定，但這區區幾p波長調諧量，帶來的焦深波動僅有奈米級的千分之一，在工程容差上完全可以忽略不計！
切入點，被他找到了！
李東立馬準備將這個「光源波長即時同步調諧補償方案」寫在試卷上。
然而，當他動筆時卻突然僵住了。
「等等……」
「要微調λ，雷射器必須要接收到一個精準的控制指令，這個指令從哪來？」
題目要求響應速度≤ 1，且不能有任何與晶圓表面直接接觸的部件。
這意味著，用接觸式溫度感測器實地測量水溫的方案完全不可行，響應速度不達標呀。
「唯一的辦法是……前饋控制！」
李東無短板的0。2屬性開始發揮作用。
「必須提前建立一個精準的對映模型。」
「這套系統的所有核心工況引數現在都是已知的。」
「我只需要透過預實驗，標定出不同工況引數組合下，曝光狹縫內浸沒液的瞬態溫升ΔT，再透過超純水的折射率溫度係數，推匯出對應的Δn，最後直接把這個預標定的補償值同步反饋給雷射器，讓它在雷射出光的瞬間，同步完成Δλ的調整！」
想通了這一層，李東卻感到一陣深深的無力感。
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