隔著一層觀察窗,林偉雙手抱在胸前,一動不動地看著裡面那臺龐然大物。
這是他們新一代的浸沒式光刻整機。
兩年前,國威那臺“啟明”系列的國產浸沒式整機落地的時候,也曾經在網上掀起過一陣風浪。
能把這麼一臺頂尖的光刻整機,從裡到外自己攢出來,本身就夠讓人振奮了。
可那對林偉他們來說,那事早就翻篇了,他們可不能停止不前。
眼前這臺,比當年的“啟明”又往前先進了一大截,這是衝著七奈米節點去的。
“林總。”
身旁一名技術員盯著控制屏,聲音裡帶著掩飾不住的激動。
“最新一輪全片驗證的資料,出來了。”
“雙工件臺的同步誤差,整片壓到了閾值以下。”
“套刻精度和焦面控制,從片心到片邊,全程都死死咬在了設計指標上。”
“這臺整機……過線了。”
觀察窗裡,機械臂正穩穩地託著一片晶圓,在兩座工件臺之間無聲地交接。
林偉看了好幾秒,才緩緩吐出一口氣。
他這種人,是不大會把情緒掛在臉上的。
可這一刻,連他手都有些微微發抖。
這臺整機一旦真站穩了,那就意味著它能磨出來下一代國產的AI加速器(AI accelerator)。
這兩年外面那些大模型越堆越大,對算力的要求大得嚇人。
可真正頂尖的那批晶片,華夏自己沒有,而現在……華夏終於可以自己下場了。
雖然跟外面的比,他們手裡這傢伙還差著身位。
人家最頂尖的極紫外光刻(EUV),早就把晶片推到了2奈米節點上。
他們這臺浸沒式光刻(DUV)連同多重曝光,往極限裡一點一點地逼,才把七奈米硬生生啃了下來,工藝更費,良率也更難看。
可這條路能不能走通,從來就不只看單顆晶片的成色。
單顆追不上,那就拿數量去填,成千上萬顆加起來連成一片,靠著規模硬生生把那點差距給抹平了不少。
何況國內的電費便宜,電力又管夠,這麼大一片的晶片也就喂得起。
這條路是真真切切,被他們走通了。
而且這條路能走到今天,裡面離不開的還是……李東那套降維演算法。
是那套演算法解決了流熱耦合即時控制。
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