技術總監迅速拆解了任務,需要提升光刻機的精度與穩定性,主要依賴三大支柱:
1。更純淨。更穩定的光源系統(雷射器)。
2。更智慧。更強大的光刻計算光刻(CoutationalLithography)演算法。
3。更高精度的運動控制與對準技術(核心是超精密測量與執行器件,如。。。超高精度陀螺儀用於晶圓臺和掩模臺的奈米級穩定與定位)。
供應鏈負責人被賦予了重任他迅速將團隊分組:一組去考察雷射器巨頭西蒙和蔡斯公司,一組去矽谷尋求頂尖的計算光刻軟體公司,最後一組,則負責尋找超精密運動控制解決方案。
保羅被分在了超精密技術組。
他的同事被派往北美,目標直指該領域的絕對王者--霍爾尼爾(Honeywall)和老二AEO
(AlliedElactronics&Optics),希望能採購到其最頂級的精密運動控制模組。
而保羅的任務則是前往亞洲,考察霓虹的東之。TDK等可能具備相關超精密技術的公司。
「保羅!」
供應鏈負責人將任務書遞給他,特意補充道:「另外需要提醒你的是,今年3月份的國際工業博覽會將在種花的深城舉行,你亞洲之行結束後,順道去深城看看。。:」
「你留意一下,有沒有可能找到能提供精度在0。001°/h到0。0001°/h的超精密陀螺儀供應商,溫尼克總裁對這個指標很關注,他認為這對我們下一代EUV光刻機的穩定性至關重要!」
保羅接過檔案,作為資深技術專家,他忍不住苦笑吐槽。
「頭兒,你確定沒開玩笑?
霍爾尼爾最先進的旗艦型號GG1389,零偏穩定性才0。0015°/h,還是北美白房子嚴格管控的戰略物資!
三個零的超精密陀螺儀,它就不可能出現在博覽會上!
你讓我在亞洲找精度最低要達到0。001°/h,三個零的高精度陀螺儀?
我覺得亞洲除了霓虹以外,都是超精密技術的荒漠,在深城國際工業博覽會上找高精度陀螺儀,這簡直是在開玩笑!」
保羅覺得頭幾這要求,近乎天方夜譚。
阿斯嘜供應鏈負責人無奈地聳聳肩。
「保羅,我知道這很難,但你也知道,溫尼克好不容易才把AS到這個位置,他絕不允許下一代EUV因為任何一個環節的短板而掉下去。
你就當。。。去深城度個假,碰碰運氣吧?
萬一有驚喜呢!」
保羅嘆了口氣,將任務書塞進包裡。
「好吧,我盡力而為,不過你別抱太大希望!」
他已經在盤算著霓虹之行結束後,去深城參加工業博覽會時該如何「禮貌性」地走馬觀花了。
話說回來,深城有什麼值得好好逛逛的地方嗎?
保羅是個土生土長的荷藍人,從未踏足過東方那個古老的國度。
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