第484章 我不會讓你輸
陳學兵說出這句話，內心也經過了一番掙扎。
扶柳傳上位，讓張汝京退位，這些事若傳出去，以後人們不知會怎樣看他。
可事情往往就是這麼反直覺。
柳傳還有利用的價值，張汝京繼續待在中芯，卻是一點好處都沒有了。
這一點都不公平，可是。。。它需要這麼發生。
「陳總，你到底站在哪一邊？！」張汝京背起了手，有些激動地問道。
陳學兵早已有了迎接怒火的準備，此時十分冷靜地回答：「自然是國產半導體這一邊「」
。
「砰！」
張汝京猛地將桌上的訴訟副本拍在桌面上，語氣裡滿是悲憤與倔強：「臺積電要我退位？我偏不退！他們告一次，我接一次！1。75億美元的賠償我扛了，90n甚至65n技術難關我闖了，現在你告訴我，要我用退位換和解？這不是妥協，這是認輸！是對所有跟著我回國幹半導體的兄弟的背叛！」
陳學兵端坐不動，等張汝京的怒火稍歇才緩緩道：「張董，65n可以靠193n沒式光刻和偏光照明。OPC。RET這些光學技巧硬闖過去，可45n是光靠技巧就能解決的。
「臺積電和英特爾在45n經用上了193n沒式：NA值1：2的光刻機：高NA透鏡：雙重曝光，中芯呢？你們連一臺真正的193i都還沒完全跑順，更別說DP工藝整合。套刻精度。overlay控制。
「45n柵極cD要求已經到了40n下，單靠193n曝，衍射極限擺在那裡，線寬粗糙度（LWR）。CD均勻性根本壓不下去。
「更別說HK（高k金屬柵）。應變矽。低k介質。銅互連的電遷移問題，這些不是買幾臺裝置就能解決的，需要整個工藝平臺的積累。
「臺積電在45n經做了兩年以上的工藝驗證，中芯現在連65n良率都穩定不了，你告訴我，45n什麼跟他們拼？靠勇氣嗎？」
這頓輸出，把張汝京說啞了。
他沒想到一個投資人，竟然跟他講技術問題，還把問題講得如此專業和具體。
實際上陳學兵此前對晶圓製造也就知道個流程，曉得哪些工藝比較關鍵，這次是讓辛夢真諮詢了DCT請來的日本專家，廢了很大的勁才把這些專業名詞的含義大概掌握，不過根據中芯國際面臨的層層技術阻礙，不需要深懂，已經讓張汝京無法回答了。
「45奈米，單曝必死，多重曝光是唯一的量產路徑。」
陳學兵沉聲說罷，又再問道：「如果沒有臺積電許可，自研多重曝光死路一條，張董你告訴我，你打算怎麼解決這個問題？」
前方全是臺積電和Inter的專利牆，強做就是專利侵權，甚至沒有人家的授權和技術文件，做下去也是成本爆炸。
他問得如此具體，張汝京已經沒法用「決心」兩個字來回答了。
「我們可以研究混合曝光方案。。。」張汝京雖回答了，但也有些勢弱。
混合曝光，本質上是「能單曝就單曝，實在不行才用多重曝光」的折中方案。
專利風險雖然小一點，但仍然存在，而且單曝多曝工藝不一致，技術缺點太多，是工藝整合工程師的噩夢，這不是長久之路。
陳學兵微微失望的表情搖頭，也說明著他的答案並不具備可行性。
張汝京的臉色一陣青一陣白，嘴唇動了動，卻一個字也說不出來。
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