重活一世,是為自己的幸福奮鬥,還是為了民族進步而擔當,這個問題他也早就想好了。
「陳總,你剛才說的多重曝光才能製造45n這句話,其實不完全對,IBOPC/RET光學增強技術加上新型193i,能透過單次曝光即可完成關鍵層製程,實際上各家的晶圓廠都有一定的保密技術去完成45n量產。」
張汝京忽然開口,說了一些行業內情。
「多重曝光也不是晶片製程升級的唯一方向,甚至不是量產可行的主流方向。」
「主流產業界主要致力於光刻機NA的提升,解析度增強技術(RET)的深度最佳化,新材料和器件結構革新,工藝平臺整合。」
「多重曝光目前還在實驗室階段,其實只有少量試流片,臺積電。英特爾都在用原有成熟的技術生產,多重曝光專利其實也不是臺積電壟斷,它分佈在IBAS。IC。臺積電。佳能等多家手中,中芯如果要做,也可以走IB盟路線,不需要臺積電授權,但需要很多研發經費。」
「不過有件事你說得對,多重曝光有可能成為32n28n點的重要技術,我們應該重視它,IB合作限制得太緊,臺積電是我們最有可能獲得相關技術靈活授權。自主升級的路,我們應該努力爭取。」
「我們中芯現在還在為65n率達到量產邊界而爬坡,近兩年能完成這個目標就是大幸,說實話,之前我根本沒有想過有人會來跟我討論下兩個節點的問題。」
行內人到底是行內人,掌握的資訊更加準確和具體,一開口,說得陳總老臉一紅。
居然能在無多重曝光的情況下做出45n他在辦公室似乎表現得有點過於自信了。
也由此想到,他請教的那些辛夢真從日本請來的專家對先進晶圓廠的生產情況可能不太瞭解,或者說,他們由於近一兩年沒有處於最先進的生產系統裡,掌握的資訊已經過時了。
媽的,半導體這個行業資訊太封閉了,要掌握一手情況,光在門外打聽還是不行,還得先進圈。
不過,中芯眼界沒掉隊,這是好訊息。
多重曝光路線有選擇,也是好訊息。
引進193i,是重大好訊息。
陳學兵雖然內心狂喜,但面上卻眉頭深皺:「中芯的發展落後,不僅在製程方面,還在於品類的偏科,你們以往只生產DRA片,不做邏輯晶片,站在先進位程突破和技術能力沉澱。打破海外封鎖上,DRA動效果很弱,不能光靠中低端來填產線啊。。。。中芯以後要邁上高階生產路線。」
DRA儲對工藝整合和器件設計的要求低,它有一套模板,代工需求大,生產也簡單,過去的中芯就靠這個存活。
這樣的晶片卡不了脖子的,能買。
而CPU和GPU就不好說了。
從目前來看,CPU才是先進位程的終極應用場景,工藝要求複雜且高,能鍛鍊全工藝平臺能力。
先進位程也往往供應著高階的邏輯晶片,不做CPU,GPU,哪有動力往先進位程研發?
此時,張汝京卻笑了一聲。
「過去我們哪有條件做邏輯晶片,我們工藝節點跟不上,技術積累也不夠,做出來的CPU沒人要啊,我們只能吃到一些DRA包訂單,邏輯晶片我們也做,都是低端家電U,簡單的控制晶片之類。
「不過現在,已經好多了,這還要多虧了展訊!
「最近一年,展訊給了我們不少專用邏輯晶片(DSP)訂單,現在又加入了CPU在內的SOC整合,我們在邏輯晶片製造上的突破很大,也在力求轉型,正打算把深矽蝕刻機。大容量薄膜沉積裝置等DRA用裝置替換量降低,增加邏輯晶片所需的原子層刻蝕機。高精度離子注入機。高均勻性C裝置等等。
「我們眼前這條線,就打算打造為邏輯晶片研發線,單獨配置高階裝置,避免與DRAbr>
產線混用導致的工藝汙染和引數干擾,只要一到兩年,月產能應該能達到2000片!」
張汝京說的2000片,是12英寸晶圓。
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