第232章 野心初現，和國際頂尖的差距
「目前，幹法刻蝕工藝主要是離子銑刻蝕。等離子刻蝕和反應離子刻蝕三種方案。」
「而這三種方案，離子銑刻蝕最為簡單，可控性也比較高，技術成熟度也很高，相關的專利其實也已經被申請的差不多了，想要彎道超車，避開西方的專利壁壘，這個方案非常的難。」
「除此之外，這個方案也有技術本身的缺點，那就是刻蝕選擇性極差，必須採用專門的刻蝕終點檢測技術，並且刻蝕速率也比較低，性比價相當低。」
「而等離子刻蝕，雖然透過選擇和控制放電氣體的成分，可以得到較好的刻蝕選擇性和較高的刻蝕速率，但是刻蝕精度卻並不高，一般只能運用在大於4-5微米線條的工藝之中。」
「而我們實驗里正在進行的專案，就是王總設計的反應離子刻蝕方案！」
陳凌嶽一邊介紹著，一邊帶著尹之耀等人朝著刻蝕方案專案區域而去。
聽到陳凌嶽這麼介紹，尹之耀的神情並沒有多大的變化。
論文他已經看過了，雖然有些吃驚王東來的動作迅速，直接就在自己的實驗室進行驗證，但如果只是這樣的話，也只能算是一般，中規中矩。
尹之耀的心裡想法，其實不僅是王東來能看出來，陳凌嶽也能看出來。
一路無話，很快就到了地方。
作為刻蝕行業沉浸幾十年的大佬，尹之耀心裡不斷地評價著這座實驗室。
「看來銀河科技還是很捨得在這方面投入的！」
等到見到實驗專案的時候，尹之耀就變得無比認真起來。
眼睛一眨不眨地看著儀器。
現代的幹法刻蝕裝置包括複雜的機械。電氣和真空裝置，同時還配備有自動化的刻蝕終點檢測和控制裝置，價格昂貴，很少有實驗室會完全配備。
而現在，尹之耀的面前就有這些儀器。
這些儀器，目前也經過人為的修理調整，用來驗證王東來的反應離子刻蝕方案。
說實話，這些儀器如果不是陳凌嶽加入銀河科技的話，恐怕還需要大半年的時間甚至更長時間才能湊齊。
至於反應離子刻蝕的原理倒也算簡單。
這種刻蝕過程同時兼具物理和化學兩種作用，輝光放電在零點幾到幾十帕的低真空下進行，矽片處於陰極電位，放電時的電位大部分降落在陰極附近，大量帶電粒子受垂直於矽片表面的電場加速，垂直入射到矽片表面上，以較大的動量進行物理刻蝕，同時它們還與薄膜表面發生強烈的化學反應，產生化學刻蝕作用。
選擇合適的氣體組分，不僅可以獲得理想的刻蝕選擇性和速度，還可以使活性基團的壽命短，這就有效地抑制了因這些基團在薄膜表面附近的擴散所能造成的側向反應，大大提高了刻蝕的各向異性特性。
反應離子刻蝕也是超大規模積體電路工藝中很有發展前景的一種刻蝕方法。
王東來當時在構思方案的時候，原本是想著弄出一份離子蝕刻方案就行了，但是在【大腦超頻】的狀態下，靈感無數，便研究出了一份全新的反應離子刻蝕方案。
在設計好之後，便發給了陳凌嶽，讓他在實驗室裡進行驗證。
經過差不多兩天的裝置調校，今天便是驗證的時間了。
操作人員再三檢查無誤之後，陳凌嶽便下令開始驗證起來。
「嗡！」
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