尤其這可是全球唯一的光刻工廠技術,具備全球唯一性,更是不知道吸引力多少學者專家的目光。
不少人連工資都不想要,甚至還願意倒貼錢進來,為的就是能夠近距離接觸這個技術。
這在學術界,可是具備極大的學術價值。
所以,外人都能夠想明白的事情,在這裡工作的眾多員工也很清楚。
此刻毫無疑問就是決定他們命運的關鍵時刻。
只要光刻工廠成功了,那麼他們就能伴隨著這個成功,在事業上取得新的成就。
可要是失敗,一切休提!
從指揮中心的螢幕上,可以看到每個流程的畫面。
這裡畢竟是光刻工廠,而不是晶片生產流程,不會從一堆沙子變成晶片開始。
就只見到機械臂把一片12英寸的矽片,緩緩送到固定位置,在這個矽片上所塗抹的光刻膠,正是銀河科技自研出來的產品。
包括eda設計軟體,再到掩膜臺,這些核心軟體以及裝置都是銀河科技自主研發,突破西方技術完成的。
眾人看著螢幕裡的矽片,就象是在看稀世珍寶一樣,充滿了期待。
當晶圓精準對接至雙工作臺的瞬間,螢幕上的對位誤差數字立刻就跳出了一個精準數字。!
這個數字是什麼意思呢,相當於頭髮絲直徑的千分之一!
很快,光斑在晶圓表面上開始移動,如同用奈米級的刻刀在繪製電路圖案。
小小的一枚晶片,看上去可能還沒有小拇指指甲大,但是放到高精顯微鏡下,就能看到密密麻麻的電路圖案。
只有看到這個場景,才會知道晶片上所存在的技術是何等強大。
裝置執行發出的低鳴聲,在安靜無比的指揮大廳裡面變得刺耳起來。
只不過,在場的眾人都沒有嫌棄這個聲音,甚至於連呼吸都不敢大聲,害怕會有影響。
第一片被曝光完成的晶圓被送到顯影機,光刻膠經顯影液處理後,電路圖案逐漸顯影。
當晶圓從裝置中送出時,測試主管快步上前,用機械臂將其轉移至電子顯微鏡下。
螢幕上,28n的電晶體陣列整齊排列,線條邊緣光滑如鏡,沒有一絲毛刺。!”測試主管的聲音帶著顫鬥,“符合設計標準!”
控制中心裡響起第一陣壓抑的掌聲,隨即又迅速安靜起來。
因為真正的“大考”還在後面,接下來的蝕刻丶離子注入丶金屬沉積還有100多道工序,任何一步失誤都會讓前面的努力功虧一簣。
時間一分一秒過去,晶圓在不同車間流轉,控制中心的螢幕上即時更新著每道工序的引數:蝕刻深度誤差≤2,離子摻雜濃度均勻性≥99,金屬佈線良率95
資料曲線象一條繃緊的弦,時高時低,卻始終在合格線以上徘徊。
因為整個流程不是一兩個小時就能完成的,所以領導們是專門抽出了一天的時間,留在這裡,要親眼看到光刻工廠的正式投產的情況。
如果出現問題,就要立即找出問題,並解決。
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