“機械對準和光學對準的誤差分別多少？”
“機械對準的誤差大概在一點二奈米左右，光學對準的誤差波動比較大，有時候能到三點幾。”
“環境振動和溫控呢？”
“廠房的防震地基和潔淨室的溫控都是按最高標準做的，實測資料都在正常範圍以內。問題不在環境，在裝置本身。”
趙陽聽完之後沒有馬上說話。他靠在座椅上想了一會兒。套刻精度的問題大機率不是單個引數的事，而是幾個子系統之間的匹配沒做好工件臺的定位精度、光學對準系統的補償演算法、光刻膠的塗布均勻性，這些東西疊加在一起，單一調哪個都不管用。
光源均勻性的問題反而好解決一些，大機率是曝光劑量校準檔案的引數設定不對，或者鏡頭組的熱效應補償沒有做好。
旁邊的梁孟松好奇的看著自己這個年輕的老闆，他看過趙陽很多新聞，他跨專業的能力，梁孟松從來沒有質疑過。
但他可從來沒聽說過，趙陽曾經研究過光刻機啊！
不過就剛剛自家老闆問的那幾個問題來看，還真是個內行！
這可不是能裝出來的！
車子到了工廠門口，梁孟松領著趙陽首接進了潔淨室。換上無塵服，戴上口罩和手套，穿過風淋室，裡面的黃光區一排排裝置亮著狀態燈。
幾個工程師正圍在光刻機前面，有人趴在地上看工件臺的導軌，有人坐在主控螢幕前反覆調引數。看到梁孟松帶著趙陽進來，幾個人都停下了手裡的活。
趙陽沒有跟他們寒暄。他走到光刻機的主控螢幕前，調出最近幾次測試的全部引數記錄，一行一行往下翻。看了一會兒他抬起頭，問旁邊那個正在調引數的年輕工程師：“你們校準的時候，光學對準和機械對準是分開做的還是聯動的？”
“分開的。先做機械對準，再做光學對準。”
年輕工程師回答道。
“問題大概出在這裡。”
趙陽指著螢幕上兩條几乎重疊但存在微小相位差的曲線。
“機械對準和光學對準必須聯動校準。如果先機械後光學，光學對準會把機械對準的殘餘誤差放大，因為光學系統在掃描的時候會重新取樣，這個時候機械對準留下的那一丁點偏差會被當成正常訊號。”
幾個工程師互相看了一眼。梁孟松站在旁邊沒說話，但眉頭微微皺著。
“聯動校準怎麼做？我們試過幾輪，兩個系統同步跑的時候資料抖得厲害。”
一個年紀稍大的工程師遲疑著開口問道。
趙陽開始一段一段講。從工件臺的運動學模型講到光學對準的取樣頻率，從補償演算法的時間延遲講到感測器訊號的處理方式。
他沒有泛泛而談，而是按照自己腦子裡關於光刻機系統架構的經驗，把每一步都分解得很具體。講到後面他拉過一塊白板，用馬克筆在上面畫了張流程圖，標註了幾個關鍵引數應該調整的數值。
“光源均勻性的問題不用調裝置。”
趙陽把馬克筆放下，“應該是曝光劑量補償檔案的引數設定有問題。你們查一下鏡頭熱效應補償係數，大機率是預設值沒有改。邊緣劑量偏低是因為鏡頭組在長時間連續曝光下會產生輕微的熱膨脹，補償係數不對就會導致邊緣對焦偏移。”
那個年紀稍大的工程師盯著白板上的引數值看了好一會兒，然後轉頭看了梁孟松一眼。梁孟松朝他點了點頭，幾個人立刻散開去重新跑引數了。
接下來三天，趙陽幾乎都待在工廠裡。光刻機的問題解決之後，他又陸續幫產線調了刻蝕均勻性的引數波動、CMP的終點檢測偏差、離子注入的角度誤差。
每一個問題他都是現場看資料、現場給方案，沒有哪一次是坐下來慢慢推敲之後再回來改的。工程師們一開始還覺得這位學術明星可能只是在宏觀層面給點建議，但幾次除錯下來，所有人都意識到他不是在建議，他是在首接告訴他們問題在哪裡、怎麼改、改了之後會怎麼樣。
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