接下來兩天,蘇白幾乎沒有出過廢品站的門。
十片矽圓片整齊的排在工作臺上,每一片都經過了他用蒸餾水和無水酒精的反覆清洗。
第一步,塗光刻膠。
蘇白用自制的旋塗裝置,也就是那臺離心機換了個低速檔,把光刻膠均勻甩在矽片表面。
轉速一千二百轉,持續三十秒。
取下來的矽片表面覆蓋了一層薄薄的淡黃色膠膜,厚度約兩微米。
然後是預烘。
蘇白把塗好膠的矽片放在鐵板上,下面用酒精燈加熱。
溫度控制在九十度,烘兩分鐘,讓膠膜裡的溶劑揮發乾淨。
佟舒幫他計時,手裡攥著那隻從廢品堆裡淘出來的老式懷錶。
“兩分鐘到了。”
蘇白用鑷子把矽片取下來,放在避光盒裡冷卻。
十片矽片,十次塗膠,十次預烘。
流水線作業,兩人配合的十分默契。
第二步,曝光。
這一步必須在暗室環境下完成。
蘇白把廢品站的窗戶用黑布蒙的嚴嚴實實,只留一盞紅色安全燈。
他從避光盒裡取出那張修改好的光刻掩膜,那張沒有自毀後門的版本。
掩膜覆蓋在塗好膠的矽片上方,對準位置。
蘇白用的對準方法很簡單:矽片邊緣有一個他預先刻好的定位缺口,掩膜上有對應的十字標記。
兩個標記重合,就意味著對準完成。
破綻之眼輔助微調,精度控制在一微米以內。
然後開燈。
那盞從軋鋼廠暗房裡搬回來的高壓汞燈發出強烈的紫外線。
曝光十五秒。
關燈。
紫外線透過掩膜上的透明圖案區域,照射在光刻膠上。
被照到的部分發生化學反應,變的溶於顯影液。
。片矽的方下護保續繼,變不持保分部的到照被沒
。理原本基的刻是就這
。高很都求要度的步一每但,單簡
。影顯,步三第
。秒十三晃輕輕,中溶鈉酸碳浸片矽的後曝把白蘇
。面表矽的方下出,落解溶膠的過照線外紫被
。案圖護保形,位原在留分部的照被沒
。察觀下燈全安紅在,洗沖水餾蒸用,片矽出取
。案圖路電微的晰清了現出面表片矽
。線斷有沒,刺有沒,整齊緣邊,利銳條線
。下一了翹微角白蘇
。氣涼口一了吸倒,看來過湊舒佟
”?路電的片晶是就這“
。頭點白蘇
”。刻蝕,步一後最差還“
。刻蝕學化,步西第
。五之分百度濃,溶酸氟氫的釋稀好配白蘇
。槽形,層一掉蝕腐面表矽的把酸用是步一這
。度高有原持保,響影不分部的護保膠刻被而
。構結路電的立了形就面表片矽樣這
。酸浸慢緩,片矽著夾子鑷用白蘇
。秒十三時計
。乾晾然自,水酒水無,洗沖水餾蒸,出取
。掉洗解溶部全膠刻的餘剩把酮丙用後然
。現呈然赫路電積微的整完張一,面表片矽
。路電片晶A7-LM的門後毀自有沒
。本版的淨乾
。描掃面全終最行進眼之綻破,下燈到舉片矽把白蘇
。確正線連閘輯邏有所
。勻均度寬線走有所
。線值閾毀自的來原了代替完線連位電零西
。發會不遠永,零為件條位溢數計
。氣口一了吐的長長,上背椅在靠,片矽下放白蘇
。的的抿,紅泛眶眼,邊旁在站舒佟








