一九九一年六月九日,清晨。
文京區,本鄉。
皋月迷迷糊糊地睜開眼睛時,最先看見的是一片陌生的天花板。
臥室的窗簾沒有完全拉緊,六月清晨的陽光從縫隙裡照進來,在床尾和地毯上留下一條窄窄的光帶。
房間裡很安靜,空調送風的聲音輕得幾乎聽不見,旁邊的人呼吸也很平穩。
……
等等,為什麼旁邊會有人?
皋月盯著天花板看了幾秒,才想起這裡是哪裡。
西園寺·閒院·本鄉,頂層公寓。
艾米的家。
她下意識想要起身,身體卻只動了一點便被拉了回去。
向下看去,只見一條手臂橫在她腰間,另一隻手還扣著她的手腕。
艾米整個人從背後貼在她身上,臉埋在她的頭髮旁,一條腿還壓住了她的雙腿,像是生怕懷裡的人會在睡夢中逃走,連最後一點縫隙都堵得嚴嚴實實。
皋月低頭看了看腰間的手,又艱難地偏過臉。
艾米近在咫尺。
她睡得很熟,黑色的長髮散在枕頭上,嘴角還帶著一點極其滿足的笑意。
皋月沉默了片刻。
隨後,她想起了幾天前發生的事。
艾米在臺場的實驗線上,完成了一套被她稱作“自校準計算光刻系統”的東西。
它將逆向光刻、相移掩模、光學鄰近修正與曝光後的實測資料納入了同一套計算流程中。系統先推演光線穿過掩模後產生的偏移,再根據實際結果修正掩模圖形與曝光引數,以計算彌補裝置精度的不足。
依靠這套系統,艾米只用一臺現有的二百西十八奈米KrF實驗裝置,便刻出了零點一八微米的測試線條,隨後又製造出一枚能夠穩定執行的零點二五微米測試晶片。
零點一八微米目前還只是單純的線條測試,零點二五微米晶片的規模也不大,良率更談不上理想。可這兩項結果己經證明,現有裝置能夠被推到遠超原定極限的位置。為此,下村和光刻實驗室的研究人員在臺場連續複核了整整兩天。
而這意味著,西園寺無需等待下一代光刻機進入工廠,便可以提前推進原本數年後才能實現的製程。現有裝置的使用期限會被大幅延長,正在建設的試驗產線也能由此跳過一段漫長的追趕過程。
遠藤看完初步評估後,只在報告末尾寫了一句話。
僅第一階段,預計便可節省數百億日元裝置投資。
而這還沒有計算技術領先帶來的訂單、專利和產業地位。
幾天前,皋月帶著千鶴來到本鄉公寓,原本只是想陪艾米吃一頓晚飯,順便慶祝實驗成功。
餐廳送來的蛋糕還擺在桌上,艾米卻抱著皋月送來的花,在客廳裡來回走了好幾圈。她先問皋月實驗做得好不好,又問這項成果算不算“很大的功勞”,最後坐到皋月身邊,磨蹭了半天,才小聲開口。
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