“這……這怎麼可能?”
負責操作的研究員,看著顯微鏡下的景象,整個人都傻了。
為了這次實驗,他們己經做了最充分的準備。
整個房間,在實驗前,用消毒水和酒精,擦洗了三遍。
所有的實驗人員,都換上了白大褂,戴上了口罩和帽子。
在他們看來,這己經是他們能做到的,最乾淨的環境了。
可結果,依舊如此。
訊息傳到801專案組的每日例會上,所有人一下子沒了聲音。
“我去看過現場了。”
化工所的負責人,一個五十多歲的老教授,一臉的無奈。
“我們用高倍顯微鏡觀察了一下,發現落在矽片上的灰塵,尺寸從幾微米到幾十微米不等。”
他頓了頓,說出了一個更令人絕望的資料。
“而我們第一代光刻機,要加工的線寬,是10微米。”
換言之,空氣中隨處飄蕩的一粒微小灰塵,它的尺寸,就可能比他們要製造的整個電路,還要大。
“這些灰塵,落在矽片上,就像在高速公路上,扔了一塊大石頭。”
林振替他做了總結。
“如果是在光刻膠下面,它會導致光刻膠凸起,曝光失真,形成針孔。”
“如果是在光刻膠上面,它會擋住光線,導致下面的光刻膠無法曝光,形成斷線。”
“無論是哪一種,結果都是災難性的。”
“我們甚至還沒開始跑,就己經被這些看不見的攔路虎,給絆倒了。”
一個年輕的研究員,沮喪的說道。
“問題出在哪裡?”
林振問道。
“問題出在……空氣。”
老教授苦笑著回答。
“我們現在才明白,我們平時呼吸的,看似潔淨的空氣,對於微米級的半導體制造來說,到底有多髒。”
“我們缺少一套,能夠有效過濾空氣中微小顆粒,並且維持室內環境高度潔淨的系統。”
“也就是林總師您之前說的,潔淨室。”
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