“我在整機控制系統的底層邏輯裡,埋了一個熱力學補償模型。”她把紙遞給林振,清冷的聲線裡透著股傲氣,“機器內部佈置了三十六個溫度感測器。控制程式每隔一百毫秒讀取一次溫度,透過這套矩陣方程,即時計算出整個金屬骨架在XYZ三個軸向上的熱形變差值。”
“算出差值後,再反饋給氣浮工件臺。機身變形了多少,工件臺就反向位移多少。”
林振伸手接過列印紙,垂眸掃過上面的矩陣方程,眼底漫開笑意。
這是利用軟體演算法去彌補硬體材料的短板!
在21世紀是很成熟的光刻機補償技術,可在現在,能靠算盤硬生生推出這套補償矩陣,魏雲夢的腦子絕對是個寶藏。
“完美。”林振毫不吝嗇誇讚,斜睨了小李一眼,“把這組修正程式碼輸入主控系統。”
小李手忙腳亂接過程式碼紙,一個字元一個字元往裡敲。
大夥連大氣都不敢喘,一眨不眨盯著那個己經飄出老遠的紅點。
“回車執行!”
隨著敲擊聲落下,潔淨室裡傳來輕微的嗡嗡聲。
兩座純國產的氣浮工件臺在程式碼的指揮下,依靠空氣軸承,開始了人眼根本察覺不到的微米級平移調整。
顯示器上,那個快飄走的紅色光斑首接停住腳步。
緊接著,一點一點退了回來!
退得平穩,退得堅決。
“滴——”
清脆的長鳴響起。
控制板上,代表光路鎖定的綠色指示燈亮起。
螢幕中心,紅色光斑咬住綠色十字靶心,重合度堪稱完美。
無論溫度資料怎麼跳動,光斑巋然不動。
工件臺在底下默默消化了所有熱脹冷縮帶來的位移偏差。
“鎖住了!鎖死了!”小李激動的聲音都劈叉了,“套刻精度出資料了!”
盧子真一把推開小李,臉貼在螢幕上。
上面跳動著一行白色的字元:0.80 um。
“0.8微米……”盧子真念出這個數字,雙腿一軟,要不是旁邊王廠長扶住,他能當場滑到桌子底下去。
“0.8微米!”張懷民扯著嗓子大喊,眼淚順著滿是溝壑的老臉往下淌,“鷹醬那臺去年才搞出來的機器,公開的精度才1.2微米!咱們……咱們超越西方了!”
整個潔淨室死寂了幾秒。
緊接著,爆發出掀翻房頂的歡呼聲。
這臺用算盤打出來、用銼刀磨出來的機器,在最後也是最難的精度測試上,給了所有人一個狠狠的交代。
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