首臺裝置在中芯國際產線投入試執行。
前三天的資料一切正常。
光源穩定性99.2%，反射鏡面形精度RMS 0.09nm，雙工件臺同步精度0.5nm，三項核心指標全部達到驗收水平。
中芯國際的工程師們輪班盯著控制屏，每一組資料出來都有人記錄、有人複核、有人簽字。
唐國安沒有回京城，在中芯國際旁邊找了間快捷酒店住下，每天早晨七點準時出現在潔淨室，晚上十點以後才走。
第西天，中芯國際開始用這臺裝置試產7nm邏輯晶片。
第一批晶圓進入光刻工序的時候，整個產線的人都屏住了呼吸。
中芯國際的技術總監守在控制室裡，面前十二塊螢幕上跳動著光刻機各個子系統的即時引數。
晶圓從光刻機裡出來之後，立刻被送進了檢測裝置。
檢測結果要等西十八小時。
那兩天張董沒怎麼閤眼。他夜裡給林陽打過一次電話，沒說什麼具體的事，就問了一句“你那臺機器以前跑過7nm沒有”。
林陽說“跑過測試片，但量產驗證是第一次”。
張董沉默了幾秒，然後說“沒事，我等著”。
西十八小時後，測試結果出爐。
關鍵尺寸均勻性3.1%，套刻精度2.2nm，缺陷密度0.08/cm2——三項核心指標全部達到7nm量產標準，良率甚至超過了預期。
中芯國際的技術總監盯著螢幕上的資料看了整整兩分鐘，然後掏出手機撥了張董的號碼。
“張董，過了。”
張董在電話那頭安靜了兩秒，然後聲音帶著一種壓不住的激動：
“多少？”
“良率比預期高了將近兩成。
這臺機器做7nm完全沒問題。”
張董掛了電話，第一個打給林陽。
林陽正在北京研究院的辦公室裡看檔案，接起電話就聽到張董的聲音從聽筒裡傳出來，語速比平時快了不少：
“7nm試產成功了。
你知不知道這意味著什麼？
意味著我們從今天起不用再看任何人的臉色買光刻機了。”
林陽握著手機，回了一句：
“張董，這才第一臺。”
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