《二本畢業當老師,學生全部上清北》第173章 我們也要造光刻機,再也不想被卡脖子了(1)

作者:強壯的鹹魚·3天前

光刻機這個專案,難就難在它不是一臺機器,是一串大山。

光學系統,精密運動,超潔淨環境,光刻膠,隨便拎出來一塊,都是別人幾十年攢下來的家底。

江陽的打法很簡單,不跟人家拼整機,先把光學系統拆開,拆成一個個小山頭,一個一個打。

他把光學系統拆成了四塊:照明系統、物鏡、測量系統、計算光刻。

照明系統管光從哪來,怎麼把光整得又勻又準。物鏡管光往哪走,把電路圖縮到奈米級印到晶圓上。

測量系統管光走對了沒有,差一個原子都不行。計算光刻管光該怎麼設計,用演算法反推掩膜版該怎麼畫。

四塊裡頭,物鏡最難,測量系統最繞,計算光刻最吃演算法。江陽把它們分給不同的組,每組配一個核心研究生,配一批上海微電子的工程師,再配一個許可權:隨時呼叫山河一號。

物鏡是光學系統的心臟。一臺高階光刻機,物鏡裡要塞二十多片鏡片,每一片的曲面都不一樣,面形誤差得控制在頭髮絲直徑的幾萬分之一。

過去這東西怎麼做?靠老師傅的手感,靠幾十年的經驗積累,靠蔡司一家壟斷。

蔡司有個很有名的說法,把他們的物鏡放大到德國國土那麼大,最高點和最低點的差距,不能超過十公分。

全世界能做到這一點的,只有他們一家。

所以他們才敢躺著賺錢。

江陽不信這個邪。

加工這一關,靠兩臺裝置接力。

磁流變拋光機管粗修,把鏡片面形修到奈米級;離子束脩形機管精修,拿離子束對著鏡片表面一個點一個點地轟,把多出來的原子一層一層剝掉。

裝置國內都有,中科院和幾家企業早就能做。

真正的瓶頸不在裝置,在演算法。離子束在一個點上停多久、轟掉多少材料,這個駐留時間怎麼算,過去全靠經驗公式加老師傅的直覺。

算得粗一點,精度差一截,整片鏡片直接報廢。

“駐留時間最佳化,交給山河一號。”江陽在專案會上拍了板,“別人用經驗公式,我們不用。把整個曲面切成一百萬個點,每個點的駐留時間單獨算,算完讓裝置照著執行。”

有工程師小聲問:“一百萬個點,每個點單獨算,這得算到什麼時候?”

“山河一號算,兩天。”

會議室裡沒人接話了。

國外的老做法是簡化模型,砍掉九成變數,算個大概齊,剩下的靠老師傅手感補。

江陽這邊不簡化,全變數硬算。算力有的是,江南省那五十億建的資料中心,就等著幹這個。

他跟張標和周總工開會的時候,說得很直白:“手感是個好東西,但手感有個毛病,會老,會死,會失傳。咱們把老師傅的手感餵給山河一號,讓模型把手感存下來,傳下去。”

張標聽得頭皮發麻。

原來江陽打的不是材料的主意,是工藝的主意。

傳統工藝靠試錯,一個曲面磨一個月,不行再磨,老師傅的手感就在這千百次試錯裡磨出來的。山河一號不一樣,它不靠試錯,它直接算。

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