這次搖人……是為了解決光源問題!
在90年代,長光所專注於EUV/X射線成像技術,在EUV光源、超光滑拋光、EUV多層膜等核心技術上均有佈局。
滬海光電所,也是東大最早、規模最大的雷射專業研究所,在雷射光源技術方面有深厚積累。
科學院光電所,在光源、雷射控制等領域,都有強大的技術積累。
這些集合起來,加上韓文韜大量資金投入。
再以【原子重組】的能力,製造出無缺陷的單晶氟化鈣,解決深紫外雷射的核心晶體,能讓雷射的透過率和穩定性達到要求,解決光源問題是輕鬆松。
光學鏡頭,也可以使用【原子重組】的能力,消除石英玻璃內部的氣泡和應力,不斷逆推出矽和氧原子的精準排列,製造出非球面鏡片,解決球面像差問題。
光源系統、物鏡系統解決了!
工作臺,無非就是穩定性問題。
這個技術在五軸機床上就有應用……韓文韜當初弄出來的磁懸浮技術,除了想解決機床穩定和精度!
也是考慮用在光刻機領域!
只不過……晶片算力不夠,磁懸浮技術只能暫時放哪裡。
光刻機工作臺穩定系統是有基礎的,也不是問題。
實在不行韓文韜也會出手!
而且,他又不是要短時間內造出EUV光刻機,而是要搶佔專利!
三五年能把樣機造出來,10年內真正投入商用,都比阿斯麥快!
當然,也不用和阿斯麥比快……10年後的晶片發展己經非常快,國內有EUV光刻機兜底,最少不用擔心,設計出頂尖晶片,卻沒辦法生產出來。
幾個研究所的人過來蜀漢市,基本都是安排在年後。
現在己經1月底。
2月11號過年。
所以韓文韜也說了,過年之後再過來。
反正也不是很著急。
韓文韜自己,則是先把‘矽片’的問題解決了。
滿足晶圓廠自己生產8英寸和12英寸矽片的問題。
否則,8英寸、12英寸矽片都需要進口。
12英寸貴不說,屬於目前全球最先進的技術,還不一定能買到!
矽片不禁運,畢竟只是製作成晶圓、製造晶片用的。
核心還是光刻機等裝置,決定晶片的製成。
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