韓文韜制定光刻機光源、物鏡系統研發方向。
因為光源和物鏡系統是配套的。
更換光源，就需要更換配套的物鏡系統，所以這兩個團隊基本一體的。
短期研究ArF（氟化氬）193nm光源。
長期研究EUV光源。
至於現在去研究EUV光源，能不能成功？
【北辰精密】不會是騙子吧？
這得燒多少錢？
需要多長時間？！
韓文韜不需要自己去解釋。
公司一連串的餘額，會替他解釋。
“整個專案，今年先批100億……如果燒完了，可以繼續追加100億、200億……1000億！”
“解決EUV光源、物鏡系統，研發EUV光刻機，我們是認真的！”
100億的資金，超過10幾億美刀！
許多人都沒見過這麼長的0，真就是比命還長！
在研究所，哪裡見過這麼多錢啊？
關鍵，這還只是第一批。
隨便造！
不需要摳摳搜搜的。
造完了，繼續追加100億、200億，都不是問題。
“這……這簡首就是天堂啊！”
“我們以前過的，都是什麼苦日子啊？各種耗材反覆使用、節約著用，買新的需要申請、審批……”
“我還是第一次見到，這麼多錢！”
“全部是現金！”
“【北辰精密】這是多有錢啊？！”
“行了，別嗷嗷叫了，趕緊開始吧！”
“我們長光所EUV/X射線成像技術、EUV光源、超光滑拋光、EUV多層膜等核心技術上都有研究，EUV光源的問題由我們主要負責，沒問題吧？！”
“這是你們的強項，當然沒問題……我們滬海所這邊，主要協助你們解決大功率雷射器功率問題吧！”
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