李文介紹裝置和工藝的時候,帶著韓文韜和邱雲,看每個裝置執行,得到的產品。
從石英砂到一片切割、打磨、拋光、清洗完成後的12英寸矽片。
最終的矽片成片,是完全密封。
矽片說白了,就是晶片的底座,所以純度要求才會那麼高,對灰塵各方面雜質的隔絕,也是有要求的。
當然不可能,首接拿一個裸片給韓文韜、邱雲看。
不對……裸片也有。
“這是之前生產失敗的樣品,在晶棒提拉的時候,裝置穩定性不夠……我們請【北辰精密】的兄弟幫忙除錯後,才完成12英寸矽棒的最終生產!”
李文帶韓文韜看了生產失敗的矽棒和矽片。
將一張不合格的矽片遞到韓文韜和邱雲面前。
而合格的矽片,封裝在完全密封盒裡,肉眼看不出來任何問題。
只有在顯微鏡下,才能看到點點瑕疵。
就是一點點的瑕疵,整個矽片……整根矽棒就報廢了。
之所以不給韓文韜和邱雲,遞過來一根矽棒?
那是因為李文做不到。
一根矽棒在單晶爐裡提拉,12英寸就是30釐米左右的首徑,長度超過1一米!
隨著技術、工藝、裝置的最佳化,矽棒長度甚至能達到3米!
以矽的密度,一根12英寸的矽棒,重量超過幾百:公斤!
需要專業裝置才能拿得動。
也正是因為如此,8英寸的晶圓、12英寸的晶圓……需要在單晶爐裡提拉,難度可想而知!
堆放在角落是提拉失敗的矽棒,也是有用的。
除了回爐之外,可以作為晶圓廠裝置測試的測試片。
“我們技術……似乎非常不錯啊?!”
邱雲在實驗室。
看到切割後12英寸晶圓,進行詳細的檢測。
發現各方面資料,比想象中好很多。
他之前都盯晶圓廠的建設。
對於矽片自研、自產,進度如何,他還真沒怎麼關心。
前期晶圓廠,肯定還是用進口矽片。
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