第二天天沒亮,林大江就醒了。
他把那套《半導體積體電路基礎工藝》取了出來。
光刻膠的配比、氧化層的生長速率、擴散爐的溫度曲線、掩膜版的製作精度、金屬化蒸鍍的真空度要求.......
密密麻麻全是圖紙。
林大江在桌前坐下,開始整理、歸納。
兩個小時後,桌上多了一份五頁紙的方案。
《關於利用現有工業設施開展半導體積體電路預研的初步構想》。
第一頁,現狀分析。
陶瓷廠有高溫窯爐,最高溫度可達一千三百度,改造後可作為擴散爐使用。
農機廠有精密磨床,精度在五微米以內,勉強能達到掩膜版基板的加工要求。
化工實驗室有酸鹼處理槽,能做基板清洗和腐蝕。
第二頁,改造方案。
窯爐加裝溫控系統,精度從±五十度提升到±五度。
磨床加裝氣浮導軌,減少振動。
酸鹼處理槽加裝恆溫裝置,穩定反應速率。
第三頁,試製計劃。
第一階段:基板製備和氧化工藝驗證。
第二階段:光刻和擴散工藝驗證。
第三階段:完整工序串接,試製第一塊積體電路樣品。
第四頁,預算。
裝置改造、材料採購、人員培訓,合計約兩萬元。
第五頁,預期成果。
一個月內,在實驗室環境下實現積體電路基礎工藝的完整驗證。
林大江把方案通讀了一遍,改了幾處措辭,然後收進公文包,出了門。
......
早上八點,三江陶瓷廠。
陶瓷廠廠長錢友德接到徐建的電話,已經在門口等著了。
他四十來歲,穿著一件洗得發白的工作服,兩隻手背在身後,指縫裡還嵌著洗不掉的釉料痕跡。
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