《重生08:裝備系男神》第734章 一塊晶片的旅程(2)

作者:辛老闆·1個月前

「沒問題很通暢,我們去下一處。」

「都打起精神來,雖然不影響其他部門,但這次我們可是要挑戰分項良品率99%!」

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合格的矽片被運送了過來,翟達點點頭:「順利麼?」

試生產測試可不光是裝置運轉,一路東西怎來。怎麼走,都是測試專案內。

「翟總放心吧,之前物流運轉13項注意,全都打了勾了。」

全廠唯一的獨苗,「極光01」已經等候多時了。

矽片被戴著手套的工程師,小心翼翼的從邊緣拿起,類似於雙手與矽片垂真「夾」著。

清洗和脫水烘焙已經在來之前完成,此時批次放入備用槽後,需要人用「手」參與的工序已經完全結束。

是的,就是這麼自動化。

反射著奇特光澤的矽片先需要進行「六甲基二矽氮烷」蒸汽塗底,增加光刻膠附著力,這一步是在真空倉內進行。

緊接著被自動轉移到光刻基座,旋塗機在表面均勻塗抹光刻膠。

塗抹後再度加熱,使液態光刻膠具有一定機械穩定性,類似於烘乾膠水。

最後有著複雜電路圖形的掩膜板與矽片對齊,光學系統射出極紫外光。

被掩膜板保護的部分完好。裸露的部分則被曝光改變物理性質,這就是「光刻」最直白的原理。

無非就是精度以奈米計罷了。

短短幾分鐘,「極光01」就輕描淡寫的完成了工作。

翟達看了一眼操作檯上的資料反饋,點點頭道:「繼續,不要停。」

糾結沒意義,又不是肉眼能看出來問題的。。

後面工序會告訴他們答案的。

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「來了,該輪到我們了,新鮮出爐的晶圓啊,瞧一瞧看一看啊!還熱著呢!」

「別耍寶了,趕緊的!我的刻蝕機已經飢渴難耐了!」

光刻過後,矽片上的物理結構其實並未變化,因為極紫外線不能讓物質灰飛煙滅,只是改變了曝光部分的物理性質。

接下來就是利用其他裝置,將被改變性質的部分去除,固化表面結構紋路。

很繁瑣。

烘一下。顯影。再烘一下。用刻蝕機消除曝光的材料層。洗一下。再烘一下。注入摻雜離子。再烘一下。。。。

整個過程都在不斷烘乾,烘完A面烘完烘B面。。。被大家戲稱為「攤煎餅」。

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