在趙長安看來,要說這些世界一流的企業裡面,沒有一點明白人,那是根本就不可能的事情,而是這些明白人根本就沒有足夠的話語權。
更重要的是sony,Panasonic,aiwa這些企業在個人行動式音樂播放器市場,尤其是中高階市場,以及形成了世界性的壟斷地位,手握著大量的技術專利實體工廠,以及多年以來持續性的方向研究和數以億美元計數的投資資金。
假如選擇進入3市場,就等於一夜之間他們大量的工廠,數以萬計的員工,以及積累了幾十年的大量專利,幾乎全部被清零。
這種等於壯士斷腕的事情,基本上正常人都很難輕易的做到。
只有到了未來,隨著3制式在世界音樂播放器市場形成不可阻擋的趨勢和洪流,這些老大帝國的企業才會不得不痛苦的在現實面前低頭。
這種情況用在目前新一代光刻機的研發上面也是如此,現在世界光刻機巨頭是Nikon和Canon,都依然在豪賭步進式光刻機。
而新進的造機新勢力AS,更是在老美的牽頭下,發誓要在新一代的光刻機領域,打破Nikon和Canon的技術和市場壟斷,讓歐美人也擁有世界最高科技前沿的光刻機企業。
目前Nikon和Canon,在157n紫外雷射波(DUV)步進式光刻機的研發上面,已經投入了幾十億美元,雖然處於世界領先地位,不過157n光會被現在所用的193n片吸收,穿透率低,無論是鏡片還是光刻膠都需要重新的研發配適,同時氧氣對157n波吸收性很強,——這麼一大堆的問題,都是目前世界上這幾家(DUV)步進式光刻機在研發下一代光刻裡面遇到的難題需要客服。
而且即使能夠實現良品率的量產,157nDUV也只能把解析度提高23%,而對於之後的下一代光刻機,這似乎已經成了走到科技樹極限的死衚衕。
只不過因為前面天量的投資,使得Nikon和Canon明知道157nDUV很有可能已經做到了這一方向的製程極限,然而那句話‘超前一步是天才,超前幾步是瘋子’的箴言,他們顯然都很信奉,卻依然在拼命的豪賭。
原因很簡單,只有這麼做他們才能依然保持著行業壟斷,同時收回前期投入的幾十億美元的資金。
這個情況就像現在的個人行動式音樂播放器市場,他們不是不明白新技術的優勢和代表著產品的未來方向。
而是不願意新技術現在就在市場上蠶食他們的份額,更不願意一切重來的推倒爐灶。
而且即使在研發157nDUV光刻機的時候,這兩家公司也在多電子束,離子流技術,甚至浸沒式光刻技術光刻技術,等等研發領域悄悄的組建了研究機構,並且大量的提前申請佈局專利壁壘。
就比如在三年前的99年3月16日,Nikon公司就向專利局提交了浸沒式光刻技術專利申請,專利名稱是“Projection exposure thod and syste。該PCT國際公開日是99年9月30日,國際公開號:WO99/。
可以說是相當的雞賊。
包括和AS合作的麻省理工學院(T)林肯實驗室,也在157nUV上努力的給AS助力。
不過他們研究的方向有別於Nikon和Canon在純氮氣中進行157n波雕刻,而是選擇了離子水(純化水)狀態下的157n沒實驗。
這個實驗大致和Nikon的浸沒式光刻技術專利差不多,都是研究在純淨水狀態下157nUV的雕刻效能。
就在幾天前的全球SPIE微光刻會議上,T做出研發報告157n沒實驗的結果。
“在去離子水(純化水)狀態下的浸沒實驗,157nUV依然有著在純氮環境下的諸多問題無法解決。然而對於193n曝光是足夠透明的,在193n沒的情況下157n題常見的普遍困難都不存在,幾乎等同於現今處於乾式介質中193n進式光刻機效果。”
T的這份報告,讓現場與會的全球微影領域的頂尖大拿們紛紛失望不已,也就是在這個報告出來了以後,這幾天世界微光刻領域對浸沒式光刻技術紛紛發表了類似於‘至少現今技術還不成熟’的觀點。
這個觀點,有著這些微光刻領域專家們的真實的想法,更有著Nikon和Canon為了能繼續保持在這個領域的權威和壟斷,以及已經砸進去幾十億美元的遊說和新聞引導。
在這個會議上,林博士也參加了這場會議,會議的主持方要求他發言‘浸潤式微影技術’。
“由於NA已經大於0.9,並且隨著NA的進一步增加而回報遞減,浸沒式光刻可能是額外節點的關鍵。浸沒式光刻的關鍵是具有在光學波長中具有足夠的透射性,並且對透鏡和抗蝕劑表面是惰性的。開始研究浸沒流體是相對便宜的。一旦確定了流體,就必須解決許多問題;即,抗蝕劑的脫氣,曝光或掃描過程中流體折射率的不均勻、流體的摩擦導致的掃描速度減慢,以及潮溼環境的混亂。——”
這時候趙長安手裡面拿的一份檔案,就是在這次全球SPIE微光刻會議上,各個專家級權威的發言。
其中他看了林博士的發言的時間最長,對於別的專家的發言,基本上都是快速的瀏覽。
對於趙長安前一世這個會議上林博士的發言,趙長安沒有看到過,因為那個時候他怎麼可能對這種枯燥的技術發言感興趣。
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