寬敞明亮的機房內,首臺逐光極紫外光刻機,被放置在中心位置,是全場毫無疑問的焦點。前方牆上的大螢幕處,最上面掛著個紅色橫幅。
寫有一行標語。
“預祝全系統首次鏈路功能驗證流片圓滿成功”
而現場除總設計徐銘,賀鵬濤與丁順安兩位院士,和微電子裝備專案科研人員外,還包括華天科技公司,科技部領導以及多位院士專家。今天全部聚集在這裡,只為共同見證國家高階晶片製造的崛起。
其中很多人,都是專案某環節參與者。
最終的結果如何,對他們來說,稱得上是與有榮焉。
心中都憋著一口氣。
但像科學院院長餘高遠,則完全把自己,放在觀眾的席位上,基本全程保持沉默,很少參與發言。
把本次驗證的主導權,悉數交給總設計師徐銘。
僅在心中希冀驗證圓滿成功。
當視線重新回到徐銘身上,他已經伸手接過,賀院遞過來的逐光”最新檢測資料,隨即垂下目光神情認真的仔細檢視。
從海外新思公司,與阿斯麥半導體裝置,共同發出公告,宣佈將在明年正式推出,全新的極紫外光刻機和配套eda演算法工具,到現在已過去三個多月時間。
然論他們如何都不會想到,在這短短三個多月內,首臺逐光極紫外光刻機,已完成組裝。
將採用全新技術的核心光源系統,和工作件物鏡系統等零部件整合。
這幾天在差不多二十四小時,不停地除錯最佳化下,基本滿足實際流片驗證標準。
在如此情況下,由國家晶片製造產業專項領導小組表決,定下今天開展首次全系統鏈路功能驗證流片實驗。
“沒問題。”徐銘重新把資料文件遞還過去說。
賀鵬濤接下笑著說:“大家等這一天可是很久了,眼下終於要變成現實。”他講完不知是想到了什麼,臉上顯露出來的情緒,相比剛才多出幾分傷感。
早在十年前。
國家釋出中長期科學和技術發展規劃綱要,把極大規模積體電路製造技術及成套工藝,排在16個國家重大科技專項首位,真正重視起晶片製造技術,並給予持續和鉅額的經費支援。
他便被任命為專案主要負責人,紮根光機所研發國產光刻機。
儘管數年來取得一定成果,但距離海外阿斯麥公司,仍面臨著巨大技術層面差距。
當時行業主流觀點是,未來二十年時間,很有可能都無法實現追趕。
從某種程度上講,比戰鬥機更加複雜棘手。
對任何一位光機所人來說,看到國產光刻機崛起,實現自主高階晶片製造,是大家最真摯質樸的夢想。
他賀鵬濤自然也不例外。
而如今因為徐銘,這個尚不到三十歲的青年才俊,國家的極大規模整合製造技術,迎來飛速突破進展。
以往的夢想得以實現,且親眼目睹。
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