“璇璣系統的模型演算法,經過了無數次驗證,預測數值是不可能出現問題的。”
眼看眾人要針對此事召開討論時,只聽徐銘再次開口拍板為情況做出決斷,顯然透過這些資料報告,已然成功找到了問題的真正所在。
“問題不在於我們的設計軟體,也不在逐光極紫外光刻機的光學投影上,如果我的判斷沒有錯,應該是光刻膠在響應極紫外光時發生了,模型之外的化學反應暴走。”
“由光刻膠響應遲緩隨機,引起圖案邊緣隨機潰散。”
“進而破壞了電晶體的電學特徵。”
“周院研發的新一代光刻膠,雖然實現技術突破,但仍舊沒能達到逐光和璇璣的要求。”
“我們的設計軟體和光刻機,在技術上與海外分屬於不同的技術路線,要想真正發揮出最大優勢,成為世界上最先進的高階晶片生產線,必須為他們量身打造一款國產高階光刻膠。”
當徐銘的話音傳到房間每個人耳中,大家心裡也不免感到五味雜陳。
面對這樣的一個結果,不知道該高興還是嘆氣。
首次全鏈路功能驗證流片,在一定程度上,證明了逐光極紫外光刻機,和璇璣系統eda演算法工具的成功,單憑這兩項成果自然值得高興慶賀。
然卻也發現了光刻膠的問題,依舊無法實現真正的國產化高階晶片製造。
周啟深看到結果雖情緒短暫低落,但畢竟是國內化學領域的頂尖專家,他很快便調整好了自己的心態。
待目光重新浮現堅定之色時,立刻向餘高遠說話。
“請院裡和領導放心,我們化學研究所,保證在一年時間內找到並解決光刻膠響應遲緩隨機。”
“不影響國產晶片製造產業鏈問世。”
然餘高遠聽完這句話後,卻並沒有立刻開口表態。
反倒是把視線投向徐銘詢問道:“你是整個專項專案的總設計師,先談談你的想法和後續打算吧?”說話時臉上表情隱隱夾雜著幾分期待。
以他對徐銘的瞭解,既然能直接確定問題,那麼大機率已經有解決方案。
肯定要先詢問清楚。
畢竟和徐銘接觸的這段時間,他可沒少從對方那裡聽到驚喜。
沒錯。
徐銘對於光刻膠的響應遲緩隨機,確實沒有太擔心。
正常情況下,要為光刻機和軟體量身打造光刻膠,的確是件非常困難的事情o
尤其在化學合成以及實驗的時候,往往要經歷無數次的失敗後,才能找到最合適的配比技術和數值,而這個過程相對來說也比較漫長。
若放在以前時間充足的情況下,那自然可以慢慢去研發實驗。
奈何眼下留給國內的時間只剩一年。
但好在憑藉璇璣系統的強大,可以透過數學物理模型把編寫光刻膠的分子結構。
真正做到完美適配。
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