歐皇妲沒回答，而是伸出手指在螢幕上劃了幾下，放大了一張分子量分佈圖。
然後又抱著奶茶，小口吸了幾口，認真的思考起來。
身後的程新彤，以及一眾專家都緊盯著這嬌小的背影。
“問題在這兒。”她指著圖上一處不太明顯的肩峰，說道：“你們的聚合物合成工藝裡，鏈轉移控制不夠精準，導致高分子量組分佔比偏高。
這部分雖然對解析度有幫助，但在曝光後會產生嚴重的鏈纏結效應，首接拉高了LWR。”
程新彤猛地站起身，快步走到螢幕前死死盯著那張圖。身後的幾個研究員也湊了過來，神色各異。
“可是……”之前那個戴眼鏡的研究員遲疑道，“我們做過GPC測試，分散度己經控制在1.2以下了，這在國內算頂尖水平了。”
“1.2對28nm夠用，對13nm遠遠不夠。”歐皇妲語氣平淡，雖然她沒做過這個實驗，但是冥冥之中她腦子裡有個數字在跳出來似的。
略微停頓後，她說道：“你可以試試把分散度壓到1……1.05以下，同時要把高分子量尾端完全切掉。
另外，你們的產酸劑和淬滅劑的比例也有問題——在這麼短的曝光波長下，酸擴散長度必須控制在5nm以內。你們現在的配方，酸擴散長度至少在9到10nm。”
程新彤深吸一口氣：“這個我們也意識到了，但是調整比例之後敏感度就會大幅下降……”
“那是因為你們用的淬滅劑擴散係數太高了。”歐皇妲打斷了她，伸手從白板上拿起一支筆，刷刷刷寫下一串分子式，“試試這個，剛合成的含氟負離子配對的三級胺鹽。
它的擴散係數比你們現在用的低兩個數量級，而且熱穩定性更好。產酸劑那邊，把陰離子換成這個結構——”
她又寫了一串更長的分子式。
會議室裡鴉雀無聲。所有研究員都在盯著白板上那些陌生的化學結構。
程新彤第一個反應過來，聲音有些發顫：“小師妹，這個產酸劑的結構……我沒見過。”
“嗯……我剛想到的。”歐皇妲眨了眨眼，略微尷尬的撓著頭，“如果能夠實現，那光吸收截面比現有的提高約40%，而且分解產酸的量子產率能達到0.85。你們可以做個模擬驗證一下。”
“剛……剛想到的？”那個眼鏡研究員差點被自己口水嗆到。
眾人像看著怪物似的盯著歐皇妲。
作為歐皇妲入職以來最熟悉的閨蜜，秦嵐對此早己經見怪不怪。
別說是一群博士，就是院士，也很震驚的好吧。
她甚至還暗暗竊喜，“這新彤的光刻膠，是在小妲的幫助下突破的，那採購價格，是不是得便宜點呢？”
程新彤卻己經掏出手機對著白板拍照，同時轉頭對助理說：“快，去把合成實驗室的劉工叫來，讓他看看這個結構能不能做出來。”
助理飛奔而去。
歐皇妲又吸了口奶茶，似乎想起了什麼：“對了，師姐，你們現在的光刻膠樹脂裡還在用羥基保護基團對吧？”
“對，傳統的叔丁氧羰基保護。”
“換掉吧。”歐皇妲乾脆利落地說，“改成縮醛類保護基團。脫保護活化能更低，而且不會產生小分子氣體副產物，能大幅降低缺陷率——大概能把缺陷密度壓到每平方釐米3個以下的，就差不多了。。”
程新彤覺得自己有點頭暈。這些困擾了她大半年的難題，在歐皇妲嘴裡就像是在說今天天氣不錯似的輕鬆自如。
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