《赤色軍工,剛建國你就要造航母?》第226章 粵州硅片廠(2)

作者:大輝有熊·10個月前

這讓羅曼諾夫有些不服氣,周博或許是軍工天才,但在矽冶煉這個領域,羅曼諾夫對自己有絕對自信。

聽到周博主動問他,羅曼諾夫皺眉道:“我正要談反應爐的問題,我和郭維達瓦里希在技術上有些分歧,你來看一看吧!”

周博點點頭,郭維是中方技術負責人,他的技術路線是周博提供的。

所謂的技術分歧,周博心裡已經大概有了數。

“那好,我們看看!”

說著,眾人向著車間走去。

從矽礦石到高純矽,不是一步完成的。

按照矽提純的步驟,矽片廠建設了三大車間。

第一車間是電弧爐車間,負責矽礦石第一步冶煉,使二氧化矽與碳發生反應,生成粗矽(也稱冶金級矽),純度約為95%~99%。

第二車間是酸洗車間,透過酸化反應,去除粗矽中的鐵、鋁、碳等雜質,提高矽的純度至99.9%以上。

這兩步都是傳統工藝,雙方沒什麼分歧。

為了快速上馬,周博甚至直接照搬毛熊方案,裝置也都從毛熊進口。

而第三車間是提純車間。

將低純矽與氯化氫(HCl)反應生成三氯矽烷(SiHCl?),然後透過蒸餾和化學氣相沉積(CVD)將三氯矽烷還原為高純度多晶矽。

純度達到99.9999%(6N)至99.%(9N)

這個方法被稱為西門子法。

雙方分歧就在這一步。

西門子法雖然被各國廣泛採用,但傳統西門子法在效率、能耗、生產成本都不太理想。

因此,周博採用了更先進的改良西門子法。

能耗顯著降低,同時效率提升一倍以上。

傳統西門子法中,矽的沉積率只有約10%-15%。

如果採用改良西門子法,沉積率提高到30%。

很快,眾人來到提純車間,聚集在一個4米長的圓柱形金屬腔體前。

這是矽提純的關鍵裝置,反應爐。

提純時,將多根細長的矽棒(矽芯)插入反應爐。

然後透過沉積(CVD)反應,在高溫下將矽沉積到細長的矽棒上,形成高純度多晶矽。

羅曼諾夫道:“周博達瓦里希,這是你們設計的反應爐,怎麼能橫式佈置呢。

你知不知道,如果氣體分配不均勻,矽純度就無法保持一致。”

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