這讓羅曼諾夫有些不服氣,周博或許是軍工天才,但在矽冶煉這個領域,羅曼諾夫對自己有絕對自信。
聽到周博主動問他,羅曼諾夫皺眉道:“我正要談反應爐的問題,我和郭維達瓦里希在技術上有些分歧,你來看一看吧!”
周博點點頭,郭維是中方技術負責人,他的技術路線是周博提供的。
所謂的技術分歧,周博心裡已經大概有了數。
“那好,我們看看!”
說著,眾人向著車間走去。
從矽礦石到高純矽,不是一步完成的。
按照矽提純的步驟,矽片廠建設了三大車間。
第一車間是電弧爐車間,負責矽礦石第一步冶煉,使二氧化矽與碳發生反應,生成粗矽(也稱冶金級矽),純度約為95%~99%。
第二車間是酸洗車間,透過酸化反應,去除粗矽中的鐵、鋁、碳等雜質,提高矽的純度至99.9%以上。
這兩步都是傳統工藝,雙方沒什麼分歧。
為了快速上馬,周博甚至直接照搬毛熊方案,裝置也都從毛熊進口。
而第三車間是提純車間。
將低純矽與氯化氫(HCl)反應生成三氯矽烷(SiHCl?),然後透過蒸餾和化學氣相沉積(CVD)將三氯矽烷還原為高純度多晶矽。
純度達到99.9999%(6N)至99.%(9N)
這個方法被稱為西門子法。
雙方分歧就在這一步。
西門子法雖然被各國廣泛採用,但傳統西門子法在效率、能耗、生產成本都不太理想。
因此,周博採用了更先進的改良西門子法。
能耗顯著降低,同時效率提升一倍以上。
傳統西門子法中,矽的沉積率只有約10%-15%。
如果採用改良西門子法,沉積率提高到30%。
很快,眾人來到提純車間,聚集在一個4米長的圓柱形金屬腔體前。
這是矽提純的關鍵裝置,反應爐。
提純時,將多根細長的矽棒(矽芯)插入反應爐。
然後透過沉積(CVD)反應,在高溫下將矽沉積到細長的矽棒上,形成高純度多晶矽。
羅曼諾夫道:“周博達瓦里希,這是你們設計的反應爐,怎麼能橫式佈置呢。
你知不知道,如果氣體分配不均勻,矽純度就無法保持一致。”
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