周博和姜明尚站在無塵車間的觀察窗前,注視一塊高純度矽錠被送入切割臺上。
矽片廠生產線還沒有投產,眼前的矽錠是從滬江運送過來,用於試生產的,
隨著巨大的金剛石切割刀緩緩落下,矽錠被切成一片片薄如蟬翼的晶圓。
這些晶圓將被送往下一個車間,進行打磨和拋光。
接下來就是光刻工序,也是整個製造過程中最核心的環節。
姜明尚皺眉道:“前幾道工序都沒問題,但光刻車間的良品率始終上不去。
我研究了幾天,始終沒找到問題所在。”
周博笑道:“萬事開頭難,GK-1是第一臺光刻機,有問題很正常,沒問題才奇怪。”
兩人一邊說著,一邊來到光刻車間。
車間中央橫置著一臺龐然大物——GK-1乾式光刻機,幾名技術人員正圍在操作檯前。
“怎麼回事,又是圖案粘連!”一名技術人員苦惱道。
“會不會是光刻膠有問題?”
“不應該,都是一樣的調配流程,在滬江好用,到了粵州就出問題?
沒道理呀!”
“是呀,真特麼見鬼了!”
“原來的流水線不是挺好嗎,一做成整機就出問題,自找麻煩!”有人抱怨道。
“整機在滬江測試過,也沒問題呀!”
“到底怎麼回事呢?”
眾人議論紛紛,看到周博和姜明尚走過來,立刻向二人打招呼。
“周總工,姜總工!”
都是電子廠的老人,還是習慣用以前的稱呼。
姜明尚問道:“怎麼樣,這次良品率多少?”
“10片晶片,只有1片能用,其他全部出現圖案粘連現象!”
10%!
這良品率實在有點可憐。
周博也皺起眉頭。
光刻機在滬江時測試過的,怎麼到了粵州就水土不服?
“給我看看!”
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