《赤色軍工,剛建國你就要造航母?》第476章 突飛猛進的科技(2)

作者:大輝有熊·9個月前

還為情報部門提供了大量幫助。

這顆曾經的“定時炸彈”,如今已成了夏國最鋒利的“矛”與最堅固的“盾”之一。

兵工廠的會議持續了一上午,離開後,周博又來到了揚子江電子廠。

徐樹青和姜明尚一起接待了他。

幾人直接來到了晶片實驗室裡,周博問道:“最新的光刻機怎麼樣了?”

姜明尚笑而不語,將周博帶到一個超淨玻璃隔間前。

透過特製玻璃,可以看到一臺龐大的裝置正在執行。

銀灰色的外殼上佈滿了精密的介面和指示燈。

透著滿滿的高科技感!

姜明尚語氣帶著興奮:“這就是最新的DUV浸潤式光刻機DK-1,目前已進入產線驗證階段,分辨精度達到180奈米,套刻後精度可達50奈米!”

“50奈米!”周博露出喜色。

這已經先進晶片的工藝精度了!

姜明尚繼續介紹道:“看這裡,這是投影物鏡系統,採用了自主研發的折反射設計,數值孔徑達到了0.75。這是實現高解析度的關鍵。”

周博端詳著這臺龐然大物:“光源系統呢?”

“氬氟雷射器,輸出波長達到193奈米。”

姜明尚指向光刻機後部的一個密封單元,“這裡就是浸潤系統。

在一級物鏡和矽片之間填充了高純度去離子水,利用水對光的折射效應,有效將解析度提升了35%以上。”

“穩定性如何?”

“我們開發了全新的雙工作臺系統。”姜明尚解釋道,“一個工作臺在進行曝光時,另一個工作臺已經在為下一片晶圓進行測量和對準。這樣將產能提升了近一倍,套刻精度控制在3奈米以內。”

周博滿意地點頭,看得出,姜明尚已經完全掌握了光刻機的設計,完全可以獨當一面了。

有了DUV光刻機,晶片的發展就進入了快車道。

他笑了笑:“這一下,矽谷拍馬也趕不上我們了!”

姜明尚一笑:“他們連乾式光刻機還沒折騰明白呢,浸潤式,他們最少還需要二十年!”

“二十年,那我們EUV都要出來了!”

“EUV?那是什麼東西!”

“呃,這個比較複雜,有時間我們詳細聊!”

“好吧!”隨即,姜明尚又拿起一塊晶片,遞給周博。

這枚晶片在燈光下泛著紫色的光澤,密密麻麻的引腳排列整齊,顯示出極高的製造工藝水平。

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