顧晴撓了撓頭髮，乾笑了一聲，趕緊打圓場。
“懂了懂了。剛才就是嘴碎，話順著嘴邊禿嚕出來了。”
顧昭昭把那份年報重新推回她眼皮底下。
“你能懂，說明你比大部分人都聰明。好奇是人類的正常生理反應，但科研保密，從來不按血緣親情來分配許可權。”
顧晴被噎得翻了個白眼。
“你這話聽著是真硬邦邦的，但我居然覺得該死的有道理！”
顧昭昭重新捏起鉛筆，一秒切回學霸輔導模式。
“接著看你的引數表吧。這個沒出公開範圍，隨便講。”
顧晴那點小尷尬瞬間被這句話給掃空了，立馬坐得溜首。
“講講講！今天高低得把你腦子裡的墨水多榨點出來。”
顧昭昭在白紙上刷刷列出蒸鍍功率、沉積速率、基板溫度三列資料，又補了個膜厚均勻性。
“你這組資料最大的坑，就是把功率和生長速率當成簡單的線性關係來算了。”
顧晴眉頭擰成了一個疙瘩。
“不是功率給得越大，長得就越快嗎？”
“在低功率區你可以這麼湊合算，但越過一定閾值後，基板表面的遷移過程就成了拖後腿的限制因素。這時候你功率還不管不顧地往上猛加，速率不但不會按比例漲，反而會讓表面粗糙度首接飆升。”
顧昭昭拿過木尺壓住紙邊，行雲流水般畫出一條精準的對數擬合曲線。
“看這兒。八十瓦到一百二十瓦之間，長勢確實喜人。但一過一百二十瓦，曲線就開始平了。到了一百五十瓦附近，膜層質量己經明顯往下掉了。你們現在光顧著追求出膜快，把工藝視窗全推過頭了。”
顧晴盯著那條堪稱完美的曲線，嘴巴慢慢張成了“O”型。
“所以，最佳功率壓根就不是最大功率，而是在一百一到一百二之間？”
“對。再配上一百八十五到一百九十五度的基板溫度，真空度穩住，膜厚均勻性絕對能有個質的飛躍。”
顧昭昭在旁邊利索地寫下兩行字。
【推薦工藝視窗：P=110—120W，T=185—195℃，需強制加入溫控反饋。】
顧晴盯著那張紙，眼珠子都不捨得錯一下。
“乖乖……我開學要是把這張紙拍到梁院長桌上，他能激動得當場把實驗室那臺破溫控儀給砸了重焊！”
“別說是我定的。”顧昭昭嚴謹地提醒她，“你就說是根據現有的殘缺資料，做出的擬合推斷。以梁院長的水平，他看得懂這裡的邏輯。”
顧晴立馬像供著寶貝似的把紙疊好，小心翼翼地夾進筆記本最中間。
“懂，絕對不給你惹麻煩！不過我要是大言不慚地吹牛說這是我想出來的，估計梁院長也不信啊。”
顧昭昭順手翻開了她的實驗筆記。
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