光刻機實驗室的防守更嚴密了，一道道安檢過來，到了入口李修吾下車，潘磊和韓美美在這裡也被攔下來。
邱教授站在門口，他滿頭銀髮，精神矍鑠，顧不上安檢還在對李修吾進行檢查，走過來握住李修吾的手。
“老闆，可把你盼來了。”
“邱教授這麼激動，實驗室肯定有巨大的驚喜等著我。”李修吾笑著回應，從安檢的升級中，李修吾能感覺到光刻機的技術突破受到重視。
一身黑色衣服的安保，帶著白色手套，將李修吾的手機和腕錶收進自封袋，放在托盤裡，才放李修吾進去。
“走，我帶你去看看我們的成果。”一向沉穩的邱連海教授這次很急，拉著李修吾就往裡走。
又經過兩道安檢門、風淋室，這裡的防護等級比超算中心高出幾個等級。
將身上的衣服換成防塵服，李修吾跟著邱連海走進核心實驗區。
空曠的廠房裡，一臺巨大而粗野的機器安靜地矗立著，各種管線密佈，藍色的指示燈有規律地閃爍。
“這就是我們的第一代奈米壓印冷刻機。”邱連海走到巨大的玻璃窗前，看著內部那臺機器，眼中滿是自豪。
李修吾打量著這臺粗野龐然大物。
聽到名字他愣了一下。“奈米壓印冷刻機。”
奈米壓印光刻機他知道，這是1995年出現的技術理論，目前的缺陷非常大，卡在500奈米，無法突破。
“不錯，當前的奈米壓印技術，是熱壓技術，很容易對矽晶片產生形變，從而導致良品率差，還會損傷壓印模板，模板使用受限，50-100次就會損毀。”
“我們的一個成員，在逆推12英寸浸沒式光刻機的過程中，巧合地突破了納米晶金光石技術。”
“裡維斯對這項技術很感興趣，在對它的研究中，靈光一閃，想到了快被世界遺忘的奈米壓印技術。”
“經過多次推算驗證，並且申請了中科院的超算進行模擬，得到冷刻的可行性，當時向你彙報，邀請你來商議，你的答覆是自主決定。”
他看向李修吾。
李修吾回憶了一下，當時自己好像在深市，邱連海邀請他去一趟，他當時因為鎂合金實驗室的事情沒有去，潘磊回去也提過這件事。
“我們的冷刻技術，在低溫環境中進行壓印，使用紫外LED陣列，對晶片進行室溫固化。”
“模板是實驗室合成的奈米晶金光石，它在常溫下堅固，長時間使用不發熱，搭配我們自主研發的自組裝抗粘性塗層，使用頻次能達到5000次。”
邱連海自豪地介紹著眼前的龐然大物。李修吾聽得似懂非懂，但明白，這其中有很多是實驗室突破性技術的應用。
“目前生產晶片能達到什麼水平？”
“110奈米能實現量產，90奈米只能小規模生產，正在除錯，理論上可以做到量產，但還有一些難題需要解決。”
邱連海推了推眼鏡，“雖然他和國外12英寸浸沒式光刻機，還有很大的技術差距，但我們的奈米壓印冷刻機，走的技術路線和浸沒式光刻機不同。”
“我們完全掌握了冷刻壓印的核心技術，後續迭代只是時間和投入的問題。”
“好。”李修吾只說了一個字，但語氣中的滿意誰都聽得出來。
“超算也幫了大忙，很多過去要反覆試錯的東西，現在首接模擬運算，節省了大量的研發時間。”
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