沒有人動。
因為所有人都明白,試刻完成,不等於成功。
真正的審判,在掃描電鏡之下。
林淵啟動真空釋放,用真空吸筆將晶圓穩穩取下,轉身走向車間東側的掃描電鏡檢測區。
他的腳步不快不慢,背影沉穩。
身後,幾十道滾燙的目光,緊緊追隨著他。
他將晶圓送入樣品倉,關閉密封艙門,啟動高分辨掃描。
檢測區的獨立顯示屏亮了起來。
幾秒鐘的載入後,第一張掃描電鏡照片,被推送到了螢幕中央。
灰白色的成像畫面中,奈米級的電路線條清晰地鋪展開來。
線條均勻,邊緣銳利,間距精準,沒有半點毛刺,沒有一處塌陷。
那些被放大到幾萬倍的微觀結構,排列得整整齊齊,乾淨得近乎不真實,充滿了顛覆性的工業美感。
“嘶——”
車間裡,壓抑的抽氣聲此起彼伏。
緊跟著,第二張。第三張照片接連彈出,系統自動標註的LWR資料。CDU資料。套刻精度資料,一行行跳出來。
全都是代表達標的綠色。
見狀,車間裡終於開始有了動靜。
研究員們不由自主地長長吐出一口氣,緊繃的身體鬆弛下來,臉上湧出難以自控的狂喜。
但沒有人敢在這時放聲慶祝。
臨門一腳前的任何鬆懈,對於這群與精密工程搏鬥了一生的科研人來說,都是大忌。
而在這片壓抑的喜悅中,唯有一人,臉上沒有絲毫波瀾。
林淵站在檢測臺前,視線在螢幕最後一組資料上停留片刻,隨即抬手,關掉了掃描程式。
“很好。”
他說了兩個字,轉過身,面向屏息等待的眾人。
“單片精度驗證,透過。”
話音剛落,研究員們臉上的喜色再也抑制不住,有人已經開始用力攥緊拳頭,手臂微微顫抖。
緊接著,林淵抬手豎起一根食指,在半空中輕輕晃了晃。
“那麼接下來,只差最後一步了。”
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