會議室裡的氣氛突然間變得有些怪異。
張工和幾位核心骨幹面面相覷，若非顧及許浪是重要客戶的CEO，他們可能當場就要拂袖而去了。
半導體顯示製造可是技術活，豈是一個什麼都不懂的外行就能信口開河的？
王升也暗自捏了把汗，他知道這位年輕的許總在商業上是個奇才，但在這種硬核技術領域如此託大，怕是要鬧笑話了。
許浪卻沒有理會眾人的眼光，首接走到張工等人討論的白板前，在張工剛剛列出的陣列段TFT成膜均勻性差的下方重重地點了一下。
“我們先解決第一點。”
許浪的聲音平穩，不帶一絲炫耀的成分，彷彿只是在陳述一個再普通不過的常識。
“張工，如果我猜得沒錯，你們在除錯這條6代線的時候，應該是很大程度上照搬了當年從韓國現代收購來的5代線的成膜工藝引數，對吧？”
張工的臉色微微一變，有些不自然地點了點頭：“是的，這也是沒辦法的事，高世代線的經驗我們太匱乏了，只能在己有成熟產線的基礎上進行摸索放大。”
“我估計這就是癥結所在。”許浪轉身面向眾人，手中的記號筆在白板上飛速畫出一個簡易的PVD濺射腔體示意圖。
“6代線的玻璃基板尺寸比5代線大了不止一倍，基板面積一變大，腔體內部的氣流場分佈、等離子體密度就會發生翻天覆地的變化，你們完全照搬5代線的引數，中心區域或許沒問題，但邊緣區域的氣流就會出現渦流和逸散，這必然導致非晶矽薄膜邊緣成膜不均，也就是你們說的厚度偏差超過15%。”
這番話說出來，張工原本微皺的眉頭慢慢舒展開來，眼中閃過一絲錯愕，內心也開始思考起許浪剛剛說的話。
這道理說破了不難，但在實際生產中由於引數變數成百上千，工程師們往往身在局中不知局，很容易陷入思維定勢。
許浪沒有停頓，手中的筆在示意圖上連點了幾個關鍵位置。
“我覺得可以這樣進行一下嘗試，第一，重新設計PECVD濺射腔體的氣體流量配比和靶材功率梯度，把氬氣與矽烷的比例往上調一檔......”
“第二，靶材邊緣功率不要怕燒壞，也是往上提升一些進行嘗試，用區域性的高能量強行彌補邊緣區域氣流逸散導致的成膜率下降......”
說到這裡，許浪頓了頓，繼續丟擲了一個讓在場所有人都還沒想過的想法。
“至於刻蝕缺陷率高的問題，其實我們可以不用死磕刻蝕機的精度，機臺精度是物理極限，我們要從設計源頭去補償。”
許浪在白板上快速勾勒出一個畫素開口的形狀，將其一端微微放大，形成一個不規則的梯形。
“我們可以引入梯形畫素開口補償設計，在光刻掩膜版的設計階段，我們就故意在基板邊緣區域的畫素圖形上做出一定比例的尺寸放大，用來抵消後續曝光時的衍射效應和刻蝕時的側向鑽刻偏差......”
隨著許浪的不斷述說，整個會議室鴉雀無聲，現場如同老師在上課一樣，其餘的人都愣愣地看著許浪，滿眼的驚訝。
張工更是瞪大了眼睛，死死地盯著白板上那些看似隨意卻準確的修改建議。
雖然很多都是在猜想，但其中的物理邏輯竟然順理成章，而且這看似大膽的想法反而有著更高的成功可能性。
或許說很多實驗雖然需要大量的經驗，但更需要的就是那靈機一動的靈感。
許浪的經驗雖然比不上現場的這些資深工程師，但在強化過的精神下卻有著遠超他人的靈感。
一個年輕工程師看著許浪寫出來的假設，忍不住喃喃著，腦海中快速模擬著這個模型。
“如果這麼調，中心和邊緣的沉積速率或許可以達到一個微妙的動態平衡，我們怎麼就沒想到呢。”
眾人眼神中的疑慮和輕視早己蕩然無存，取而代之的是難以掩飾的狂喜和一種如同看待怪物般的不可置信。
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