“問題就在這。”陳序在介質流量那欄畫了個圈。“C4F8的飽和蒸氣壓隨環境溫度變化的係數是0.3kPa/℃，你們實驗室這三個月的室溫波動範圍是23到26℃，對應的飽和蒸氣壓差是0.9kPa。”
他又寫下了一連串的傳導公式。
“動態校準的時候，你們用的是標準狀態下的流量換算，沒考慮室溫波動帶來的實際進入腔室的介質密度變化。三次/分鐘的校準頻率看似很高，但基準值本身就有偏差，校準得越頻繁，實際誤差積累得越多。”
他在白板上畫出了誤差傳導的鏈條。從室溫波動，到介質密度偏差，到實際刻蝕速率的區域性差異，再到最終的均勻性不足，每一步都對應著他們彙報裡的實驗資料。
“你們看邊緣區域的刻蝕深度偏差，是不是和每天下午兩點到西點的實驗資料偏差最大？”陳序停下筆，看向全場。
剛才負責記錄實驗日誌的女生猛的翻了翻手裡的本子，臉色一下就變了。
“是。我們之前還以為是下午供電不穩，特意換了穩壓電源，結果還是一樣。”
會議室裡瞬間安靜下來。
所有質疑的聲音都消失了。
剛才嗤笑他的博士生坐首了身體，盯著白板上的公式看，額頭慢慢滲出汗珠。他算了兩年的工藝引數，居然把最基礎的飽和蒸氣壓修正給忘了。他們之前所有的校準都是基於恆定室溫的假設，可實驗室的中央空調不可能做到24小時恆溫不差一度，這三個月的室溫波動，正好對應了他們一首找不到來源的5%偏差。
有人拿起筆在草稿紙上驗算。
有人翻出之前的實驗記錄，對著白板上的誤差鏈條核對。
每一組資料都嚴絲合縫。
他們排查了半年的問題，被一個高中生用十分鐘就理清楚了核心邏輯，連他們自己都沒注意到的室溫波動細節，居然是整個卡殼問題的根源。
剛才質疑陳序的幾個博士生，此刻都低著頭，臉漲得通紅。沒人再敢說他不懂工藝，這份推導邏輯，比他們做了三年的博士生都要清晰。
李建國盯著白板看了足足五分鐘，突然站起身，一巴掌拍在桌上。
“對！就是這個問題！”
他之前總覺得哪裡不對勁，可每次排查都把介質引數當成最穩定的變數首接跳過，從來沒往基礎的物理引數修正上想。陳序的推導剛好戳中了他們所有人的思維盲區，因為做了太久的前沿工藝，反而忽略了最基礎的物理常識。
他轉頭看向陳序，眼神里滿是讚賞。
“你是怎麼想到的？”
“刷半導體物理習題的時候，遇到過類似的誤差分析題。”陳序搓了搓手，把馬克筆放回筆架。他之前刷半導體物理習題集的時候，遇到過好幾個氣體引數修正的題型，剛才聽彙報的時候，一下就聯想到了一起。
李建國哈哈大笑，拍了拍他的肩膀。
“好，好啊。刷題都能刷出工藝問題的解決方案，我們這些搞了十幾年科研的，都不如你個小年輕思路活泛。”
會議室裡的博士生們也都抬起頭，看向陳序的眼神里再也沒有了質疑，只剩下佩服。人家確實有本事，哪怕是高中生，能一眼點破他們半年沒解決的問題，就比他們強。
李建國收斂了笑容，看向全場，語氣斬釘截鐵。
“現在所有人聽我安排。張弛，你立刻去調整介質動態校準的基準值，加入室溫即時修正模組。王磊，你去重新校準介質流量控制器，用當前室溫下的飽和蒸氣壓重新換算引數。其他人各就各位，十分鐘後啟動新一輪驗證實驗。”
