陳序的視線釘在那行硬體日誌上，手指下意識敲了敲操作面板邊緣。
他抿了抿嘴。
光源功率隨機波動？之前所有的引數校準都是預設光源輸出穩定的，所有人都把注意力放在了光路和光刻膠上，誰也沒往硬體本身的波動上想。
旁邊的操作工程師急得手心冒汗，胳膊肘都蹭到了操作檯邊緣的馬克筆，筆滾到地上發出咔噠一聲輕響。他也顧不上撿，抬頭盯著陳序，眼裡全是紅血絲。
“你看這波動，每次都是在光路校準完成後跳出來的，之前我以為是系統顯示bug，刷了三次日誌才確認是真的。”
陳序沒說話。
他腦子裡飛快過著之前解鎖的14nm晶片設計基礎藍圖裡的引數。藍圖裡確實提過國產DUV光刻機的光源模組，因為零部件限制，長時間高負荷執行下會有細微的功率漂移，只是之前的測試都是短時間執行，沒暴露出來。
哦對了，系統的藍圖推演最佳化功能，上次解鎖後還沒用過。
他悄悄調出系統面板，點了下藍圖推演的圖示。
一行半透明的文字浮現在他眼前，只有他能看見。
消耗學識點1200點，是否啟動適配方案推演？
陳序指尖動了動，選了確認。
半透明的面板上飛快閃過一行行引數，比之前任何一次推演都快。畢竟這個問題的根源己經找到了，剩下的只是調整校準邏輯而己。
也就十幾秒的功夫，推演結果就出來了。
面板上給出了一套簡單的調整方案，在校準光路的時候加入即時功率補償環節，把光源的隨機波動提前算進去，不需要改動硬體，只要改一下操作軟體的校準邏輯就行。
陳序鬆了口氣。
他抬頭看向操作工程師，指了指螢幕上的日誌。
“之前的校準邏輯沒考慮功率波動，預設光源輸出是恆定的。現在改一下校準步驟，每次校光路前先測三次光源功率取平均值，校準過程中即時同步功率資料做補償。”
操作工程師愣了一下，顯然沒想到問題解決得這麼快。
他反應過來後趕緊點頭，手指在鍵盤上敲得噼啪響。
旁邊幾個熬了三天的研究員本來都靠在牆上打盹，聽見這邊的動靜都湊了過來。沒人說話，都盯著操作螢幕看，連呼吸都放輕了。
操作工程師按照陳序說的步驟改了校準邏輯，重新啟動光路校準程式。
實驗室裡靜得能聽見空調送風的聲音。
進度條一點點往前走。10%，30%，50%，70%，90%。
所有人的心都提到了嗓子眼。
之前幾十次校準，都是到90%之後就開始飄，誤差值慢慢爬到0.2%就卡住不動。
這次進度條跳到100%的時候，螢幕上跳出來校準完成的提示。
