陳序盯著螢幕上跳來跳去的數值。
0.3毫瓦的浮動看起來不大，可光刻工序差0.01毫瓦都可能導致整片晶圓報廢。之前用進口裝置的時候，功率浮動常年穩定在0.05毫瓦以內，現在這個引數，根本沒法開工。
“之前改硬體的時候動過光源模組嗎？”陳序問。
“沒啊。”工程師急得滿頭汗，“硬體改造都是按你給的方案來的，光源模組是國產DUV光刻機自帶的，我們連殼都沒碰，就調了下介面引數。誰知道一校準就成這樣了，重啟了三次都沒用。”
陳序抿了抿嘴，蹲下來翻裝置的執行日誌。
日誌跳得很快，一行行引數在螢幕上滾過去。他掃了幾行，突然看見報錯資訊裡有個熟悉的程式碼。
是光源散熱模組的適配問題。
他之前做方案的時候，考慮過國產光刻機的光源功率比進口的略高，特意留了散熱冗餘的調整引數，只是當時測試樣機的時候沒出問題，就沒把這條放進必調項裡。沒想到批次改造的時候，不同批次的散熱模組公差有點偏差，剛好卡在了閾值上。
“拿個六角扳手來。”陳序伸手。
工程師愣了一下，趕緊從工具包裡翻出扳手遞過去。
陳序擰開裝置側面的散熱蓋板，露出裡面排布整齊的散熱鰭片。他伸手摸了摸鰭片的溫度，比正常執行溫度高了大概兩度。
“把散熱風扇的轉速閾值往上調五個百分點。”陳序說，“還有光源驅動的電流補償值，往下調0.1毫安。”
工程師立刻按他說的調引數。
螢幕上的數值跳了兩下，浮動幅度慢慢降到了0.1毫瓦，又過了半分鐘，終於穩定在0.03毫瓦的區間裡，比進口裝置的標準還低。
“成了！”工程師猛地一拍大腿，聲音都變調了，“穩了！陳顧問你也太神了，這問題我們查了快半小時都沒頭緒，你上來三兩下就搞定了！”
周圍幾個湊過來等結果的研究員瞬間炸開了鍋。
“我就說陳顧問肯定有辦法！”
“剛才我心臟都快跳出來了，生怕核心工序卡殼，前面的努力全白費。”
“別愣著了，趕緊測其他引數啊！”
光刻工位的測試立刻提速。
曝光精度測試。
過。
掩模對齊測試。
過。
光刻膠顯影均勻度測試。
過。
一項項測試結果跳出來，全是綠色的達標標識。最後一項良率預測試出來的時候，螢幕上明明白白顯示著99.2%，比之前用進口裝置的時候還高了1.5個百分點。
工程師盯著螢幕看了足足半分鐘，才敢伸手揉眼睛。
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