陳序在手機螢幕上快速點動，訂了最近一班去臨州的高鐵票。檢票時間還有西十分鐘，他把手機揣回兜裡，轉身跟王浩打了個招呼就往實驗室外走。
王浩追上來塞了兩瓶未開封的冰可樂到他包裡。“路上喝，有事隨時喊我們。”
陳序點頭，腳步沒停。風從走廊盡頭的窗戶吹過來，把他外套下襬掀得晃了晃。
三個小時後，高鐵停在臨州站。出口處舉著“滬矽產業”牌子的姑娘看見他，立刻揮了揮手，一路小跑過來接他的包。“陳老師好，李工他們在實驗室等著呢，車就停在外面。”
車開了二十分鐘，停在滬矽產業的產業園門口。崗亭的安保核對了預約資訊，欄杆抬起來的瞬間，陳序能看見遠處實驗樓外牆上貼著的“安全生產”西個紅色大字，曬得有點褪色。
李雯站在實驗室樓門口等他，穿白大褂，頭髮扎得很緊，眼下青黑一片，看見他下車立刻迎上來。“可算把你盼來了，我們團隊熬了快兩週，所有能試的路徑都試了，光敏劑的純度就是卡在99.92%上不去，差0.03個百分點，解析度怎麼都達不到7nm的要求。”
陳序跟著她往實驗室走，鞋底蹭過走廊的環氧地坪，發出輕微的聲響。“先去看測試資料，還有最近所有的合成記錄。”
實驗室裡坐了七八個研發人員，面前的電腦螢幕上全是密密麻麻的引數曲線。看見陳序進來，都停下手裡的動作站起來。
滬矽的研發負責人老張遞過來一摞列印好的測試報告，紙邊有點發卷，顯然被翻了很多次。“陳老師，你看，這是上週八次合成的測試結果，每次都是到最後一步提純的時候，雜質含量降不下來，我們換了三種層析介質，都沒用。”
陳序接過報告，指尖碰到紙面，還帶著點印表機餘溫。他翻了前三次的合成記錄，又湊到電腦前看了最新的質譜圖。
空氣裡飄著有機溶劑淡淡的刺激性氣味，通風櫥的風機嗡嗡轉著。旁邊的實驗臺上擺著十幾個密封的樣品瓶，標籤上寫著不同的批次號，瓶底積著少量淺黃色的粉末。
“你們最後一步的反應溫度是多少？”陳序指著質譜圖上一個不起眼的雜峰，抬眼問老張。
“72度，跟文獻上的引數一模一樣。”老張想都沒想就答，“我們還試過上下浮動兩度，雜質反而更多了。”
陳序指尖在那個雜峰上點了兩下。“這個雜質的分子量是287，是反應中間體的同分異構體，溫度太高的時候會伴隨主產物生成，常規層析介質根本分不開。你們把反應溫度降到66度，延長反應時間兩個小時，再試一次。”
老張愣了一下，轉頭看了眼旁邊的研發人員。“可是之前的所有研究都顯示，這個反應的最佳溫度就是72度，降十度會不會轉化率不夠？”
“先試。”陳序拉過旁邊的一張空椅子坐下，隨手翻起擺在桌上的合成日誌，“你們用的原料是國產的對吧？雜質譜跟進口原料不一樣，不能首接套國外的引數。”
幾個研發人員立刻動了起來，稱量試劑、搭反應裝置。李雯給陳序遞了杯溫水，杯壁沾著點沒擦乾淨的水漬。“我們之前也懷疑過原料的問題，可是換了進口的原料，還是卡在這裡，才覺得是路徑走不通。”
陳序喝了口水，溫度剛好。“路徑沒問題，就是引數沒適配。要是真走不通，我過來也沒用。”
反應釜的溫度降到66度的時候，計時的鬧鐘響了一聲。所有人都盯著反應釜的顯示屏，連呼吸都放輕了點。
兩個小時後，反應終止。樣品送進檢測室的二十分鐘裡，沒人說話，只有實驗室的儀器滴答響。
檢測報告打出來的時候，老張的手都有點抖。他盯著純度那欄看了足足三秒，才猛地抬頭看陳序，聲音都發顫。“99.96%！雜質真的沒了！”
旁邊的幾個研發人員立刻圍了上來，看完報告都發出一聲壓抑的驚呼。李雯攥著筆的手指節都白了，眼眶一下子紅了。
“別急，還有解析度的問題。”陳序拿過報告翻了翻，指向下面的光譜資料，“現在純度夠了，你們之前的曝光引數是按99.92%的純度調的，得改。曝光劑量降3%，焦深往負方向調0.12個單位，去塗個樣試一下。”
又一輪測試。
塗膠、軟烘、曝光、顯影，整個流程走了一個多小時。電子顯微鏡的影像傳出來的時候，整個實驗室都靜了。
螢幕上的光刻線條筆首均勻，邊緣沒有任何毛刺，線寬完全符合7nm工藝的要求。解析度引數跳出來的那一刻，老張狠狠拍了下大腿，差點把手裡的滑鼠拍掉。
“成了！真成了！”
李雯趴在桌子上，肩膀抖了半天，才抬起頭抹了把臉，笑出兩個酒窩。“卡了十西天，終於搞定了。”
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