陳序攥著手機站了幾秒，沒回工位，首接轉身拍了拍身邊正在整理適配清單的演算法組組長：“通知所有核心成員，十分鐘後小會議室開會，光刻機相關的。”
演算法組組長愣了一下，手裡的筆差點掉在地上，沒多問，轉身就去喊人。原本熱火朝天的實驗室裡瞬間多了幾分緊繃的氣息，大家互相看了看，手裡的動作都慢了半拍，隱約猜到出了大事。
陳序先走到白板前，拿起馬克筆快速畫了個極紫外光刻機的核心架構簡圖，標了幾個關鍵模組。剛畫完，參會的人就陸續進來了，院士也接到訊息趕了回來，坐在靠近白板的位置，臉上沒什麼表情，手指在桌沿輕輕敲著。
“剛接到對接會籌備組的通知，原本談好的極紫外光刻機核心部件，境外全面叫停供貨了。”陳序開口第一句話，會議室裡瞬間靜得能聽見呼吸聲，有人猛地倒吸了一口冷氣。
演算法組組長皺著眉問：“那我們之前談好的兩臺引進裝置呢？也黃了？”
“嗯，不僅裝置拿不到，後續所有相關的配件、維護服務全斷了。”陳序點了點頭，“之前我們做EDA適配的時候，預設是等引進裝置落地，現在這條路走不通了。”
“那5nm工藝的量產豈不是要卡很久？”測試員的聲音有點急，“我們EDA都快適配完了，總不能卡在硬體上吧？”
院士抬了抬手，示意大家安靜：“慌什麼，卡脖子又不是第一次了。之前14nm的時候我們也以為要卡三年，最後不還是自己啃下來了？”
陳序接話：“院士說得對。斷供是逼著我們把自研光刻機的進度提前。我剛才梳理了下我們現有的技術儲備，現在國產極紫外光刻機的核心卡殼點，就是光路模組的引數偏差問題，其他模組我們其實都有成熟的技術儲備。”
正說著，門被輕輕推開，攻關基地的科研助理抱著一摞厚厚的資料走了進來，胳膊上還沾著點墨漬，應該是剛列印完沒多久。
“陳工，這是我整理的光路模組歷年測試資料，還有之前幾次攻關的覆盤報告。”助理把資料放在桌上，翻到折了角的幾頁，“我標了三處長期沒解決的引數異常點，都是每次測每次飄，之前幾次攻關都沒找到根因，應該就是卡殼的核心。”
陳序拿起報告翻了翻，那三處異常點用紅筆圈得清清楚楚，旁邊還附了每次測試的環境引數對比，整理得一目瞭然。他衝助理點頭：“做得好，這資料剛好趕在點子上。”
會議室的投屏冷不丁跳了一下，自動切入了芯盟的線上釋出會首播。大家抬頭一看，芯盟的發言人正站在臺上，手裡拿著個雷射筆，身後的大螢幕上放著國產EDA的圖示。
“我明白最近很多國內廠商在考慮適配這款所謂的全自主EDA工具。”發言人笑了笑，語氣裡帶著毫不掩飾的嘲諷，“我在這裡可以很負責任地告訴大家，這款工具根本無法適配高階光刻機工藝，尤其是極紫外光刻環節，引數匹配度連30%都不到，用了只會耽誤你們的專案進度。”
下面有人開始起鬨，還有人舉手提問，問是不是真的沒有適配的可能。發言人攤了攤手：“是他們的技術水平確實達不到，現在極紫外光刻機的核心部件我們己經全面斷供了，他們連硬體都拿不到，拿什麼做適配？我勸各位廠商還是早點回頭，繼續跟我們合作才是最穩妥的選擇。”
會議室裡有人氣得拍了桌子：“胡說八道！我們適配透過率都98%了，他眼瞎嗎？”
“合著斷供是他們早就算好的，就為了在這時候造謠？”
“太不要臉了，拿斷供當籌碼忽悠人！”
陳序拿起遙控器，把投屏的音量調大了點，對著螢幕開口，嗓音不大，卻壓過了會議室裡所有的議論聲：“別聽他放屁。”
所有人都看向他。
“斷供卡不住我們的脖子，只會逼著我們把自己的光刻機造得更快更好。”陳序指了指白板上的架構圖，“國產裝置適配程序不會受任何外部言論干擾，他們越是造謠，越說明他們怕了。”
“接下來我們的工作重心調整，先攻關光學光路模組，先啃下核心硬體的硬骨頭。”他轉頭看向演算法組，“你們組抽調三個人，配合光刻研發團隊做光路模組的引數模擬，把助理標出來的三個異常點作為優先攻關項，先把引數偏差的根因找出來。”
“測試組同步準備光路模組的測試環境，所有相關的測試用例今晚之前梳理出來，模擬結果一出來就上機驗證。”
“供應鏈組明天對接國內所有做光學部件的廠商，把我們的引數需求發過去，能合作的全部談下來，有技術瓶頸的我們可以一起攻關。”
他每說一項，就有人低頭記下來，剛才還帶著慌意的眼神慢慢定了下來，有人臉上甚至露出了躍躍欲試的神情。
院士笑著點頭：“我明天就去部裡申請專項經費，還有國內各光學實驗室的協調工作我來做，要人給人，要資源給資源，就一個要求，三個月內，把光路模組的引數偏差問題給我解決了。”
“保證完成任務！”幾個人異口同聲地應下。
會開到一半，助理的手機響了，她接起來聽了兩句，臉上露出喜色：“陳工，滬矽那邊剛傳來訊息，他們的光刻膠純度又提了0.02個百分點，己經整個能滿足極紫外光刻的引數要求了，問我們什麼時候要樣品。”
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