周所長看得目光都首了：“這就好了？我們十幾個工程師熬了一整夜都沒找著問題，你這兩分鐘就搞定了？”
“不是什麼大難處，就是有人故意搞小動作。”陳序轉頭看向清北博士生，“你牽頭做鏡組公差引數的複測校準，跟我給你的藍圖引數對一下，看看差多少。”
“好嘞。”清北博士生隨手應下來，拉著兩個所裡的工程師就去拿測試樣本。
三個小時後，複測結果出來了。所有引數都跟藍圖匹配，只有鏡組的公差資料有0.1%的偏差。陳序盯著螢幕上的引數看了半天，指尖在桌面上輕輕敲著，沒說話。
“這0.1%的偏差影響大嗎？”院士湊過來問。
“說大不大說小不小，要是量產的話，良率會降5個百分點左右。”陳序皺著眉，“奇怪，按說鏡組是按標準工藝生產的，公差不該差這麼多。”
“會不會是生產的時候出的難處？”周所長想了想，“這批鏡組是滬矽那邊生產的，要不我們過去一趟，調取一下生產時候的耗材樣本，看看是不是材料的問題？”
陳序當機立斷：“走，現在就去滬矽產業園區。”
幾個人說走就走，張磊開車，不到一個小時就到了滬矽產業園區門口。前臺小姑娘看見他們進來，沒猶豫站起來笑：“您好，請問有預約嗎？”
院士把預約單遞過去：“我們是中科院微電所的，跟你們李總約好了過來調取光刻鏡組的生產樣本。”
“好的我查一下。”小姑娘低頭敲了敲電腦，很快抬起頭，“對，有預約，我現在給你們辦臨時通行手續，稍等啊。”
她手腳麻利地打了幾張訪客牌，遞過來的時候還特意提醒：“生產區在三樓，你們進去之後跟著工作人員走，不要碰未封裝的材料啊。”
“放心，我們知道規矩。”院士接過訪客牌，分給眾人。
到了生產區的樣本庫，管理員把這批鏡組對應的耗材樣本都拿了出來。陳序一份份看過去，看著看著臉色就沉了下來。其中一份光學膠的批次號不對，跟預定的引數差了0.2個百分點，剛好能導致鏡組公差出現0.1%的偏差。
“這批光學膠的入庫記錄給我看一下。”陳序轉頭對管理員說。
管理員很快把記錄調了出來，陳序翻了兩頁就找到了問題：這批膠原本是次等品，應該退回供應商的，不知道被誰簽了字入了庫，剛好用到了這批鏡組上。
“入庫簽字的人是誰？”院士問。
管理員看了看名字：“是我們之前的一個採購員，上個月己經離職了。”
陳序沒說話，把記錄拍了照存在手機裡。他心裡清楚，哪有這麼巧的事，次等品剛好入庫用到這批關鍵鏡組上，採購員還剛好離職了。
“對方越是搞小動作，越說明我們的方向走對了。”陳序把手機揣回兜裡，語氣很穩，“鏡組的問題好解決，重新換一批膠生產就行，耽誤不了幾天。”
眾人都鬆了口氣，正準備往回走，清北博士生忽然喊了一聲：“陳序你快看！”
陳序轉過頭，看見他手裡拿著剛複測的另一組資料，螢幕上的公差偏差數值是在0.08%到0.12%之間來回跳。
“怎麼回事？”陳序走過去，拿過滑鼠翻了翻原始資料，眉頭皺得更緊了。偏差不是固定的，說明不是材料的問題，還有別的因素在影響。
他翻遍了所有測試記錄，都沒找到偏差波動的原因。外面的天己經黑了，實驗室的燈亮得晃眼，陳序盯著螢幕上跳動的數值，指尖越收越緊。
這0.1%的不明偏差，到底是哪來的？
