《黑科技從刷題開始》第119章 鏡組設計優化(2)

作者:夢凝寒·2個月前

“哎好,我現在就去調。”管理員轉身就往監控室跑,鞋跟敲在地面上發出噠噠的響聲。

院士的臉色冷得厲害:“果然有人在裡面搞鬼,不光把次等膠混進了生產線,還改了審批記錄,想把水攪渾。”

“張經理現在人在哪?”周所長轉頭問跟過來的李總。

“張經理上個月跟那個採購員一起離職了。”李總的臉色也很難看,“走的時候說是回老家發展,我們也沒多留,誰知道會出這種事。”

“離職時間倒是湊得巧。”陳序翻著手裡的臺賬,又發現了難處,“你看,這批膠入庫的時間,剛好是我們跟滬矽籤鏡組採購合同的第三天,對方是算準了時間動手的。”

正說著,管理員拿著隨身碟跑了回來,喘著氣說:“監控調出來了,還有系統日誌,你們看。”

陳序把隨身碟插進電腦,點開監控影片。畫面裡顯示,入庫那天晚上,有個穿著工作服的人趁管理員去吃飯的功夫,偷偷溜進了樣本庫,翻開臺賬改了簽字,還在系統裡修改了審批人的資訊。

“這個人是誰?”周所長指著螢幕問。

李總湊過去看了半天,臉色煞白:“是張經理的助理,上個月也跟著一起離職了。”

“三個人同時離職,還剛好都是跟這批膠相關的人。”院士冷笑了一聲,“這內鬼藏得還挺深。”

“安全組的人呢?”周所長沒猶豫掏出手機打電話,“馬上過來滬矽樣本庫,這裡有篡改臺賬的監控證據,還有三個離職人員的資訊,立刻展開溯源,挖清楚他們背後是誰。”

陳序沒管那邊打電話的事,翻完了所有的出入庫記錄,確認只有這一批次的鏡組用了次等膠,其他批次的材料都沒問題,應力問題是設計結構的由頭,跟生產環節無關。

“問題都查清楚了。”陳序把隨身碟拔下來揣進兜裡,“兩個事,一個是鏡組支撐結構改了之後,應力麻煩就能解決,公差波動會控制在合格範圍內。另一個是人為篡改臺賬的事,讓安全組順著那三個離職的人查,應該能摸到背後的人。”

眾人都鬆了口氣,周所長笑著拍了拍陳序的肩膀:“你可真是我們的福將,這麼久沒查出來的問題,你一來半天就全解決了。”

“別高興太早。”陳序微微搖頭,“對方能把手伸到滬矽的入庫環節,還能改我們的測試裝置,說明內部還有他們的人,後面的安防必須再嚴一點。”

“我知道,回去我就開全所的安防會議,所有流程都再梳理一遍,絕對不給他們可乘之機。”周所長點頭答應。

幾個人把臺賬整理好還給管理員,道了謝,轉身往樓下走。李總跟在旁邊,一首說要請他們吃飯,被院士婉拒了,說試製品打樣的事要緊,等難處全解決了再吃也不遲。

回到中科院微電所光刻研發實驗室的時候,車間己經把按新引數生產的第一批鏡組試製品送過來了,幾個研究員正圍著裝置準備做試裝測試。

“剛好,你們回來了。”負責試裝的工程師看見他們進來,立刻招手,“新鏡組剛到,我們正準備裝上去測引數呢。”

“行,我們一起看。”陳序走過去,待在裝置旁邊盯著工程師操作。

清北博士生主動遞過來鑷子,又幫著扶穩鏡組,幾個人小心翼翼地把新鏡組裝進干涉儀,固定好螺絲,接好線路。

“啟動校準程式吧。”陳序說。

工程師點了下啟動鍵,裝置螢幕上著手跳校準進度條,所有人都盯著螢幕,連呼吸都放輕了。

進度條走到90%的時候,忽然停住了,螢幕上彈出一個紅色的報錯框。

“怎麼回事?”周所長湊過去,眉頭皺了起來。

工程師點了下報錯詳情,臉色瞬間變了:“光源匹配度異常,鏡組透光率達不到標準值。”

陳序當即湊到螢幕前,盯著報錯程式碼看。試裝用的光源是光刻機實際工作的極紫外光源,按新引數生產的鏡組透光率應該剛好匹配,怎麼會出現異常?

他翻出剛才調整的結構引數,逐行核對,沒有錯。又查了鏡組的生產檢驗報告,所有引數都符合設計標準。

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