陳序抬手壓了壓告警聲的旋鈕，車間裡的尖銳蜂鳴弱了下去，只剩紅色的告警燈還在螢幕上跳。“先停了光刻腔，把襯底退到中轉倉恆溫儲存。”
操作組組長沒敢耽誤，指尖在操作檯上按得飛快，螢幕上的機械臂動作頓了頓，穩穩把剛送進去一半的襯底託了出來，送進旁邊的恆溫中轉倉。他抹了把額頭上的汗，回頭看陳序：“陳老師，剛才校準的時候所有引數都是綠的，怎麼一啟動就出難處？”
“0.1%的適配冗餘沒覆蓋到，之前模擬的時候就留了隱患。”陳序走到技術人員身後，目光落在他調出來的引數日誌上，“把近十分鐘的製程引數全匯出來，逐幀對比模擬時的閾值範圍。”
技術人員應了一聲，指尖在鍵盤上敲得噼裡啪啦響，螢幕上跳出來密密麻麻的引數列表。他拉著捲軸往下翻，翻到第三頁的時候頓住了：“陳老師你看，光刻功率引數在第三十二秒的時候跳了0.2個百分點，剛好超過了之前留的冗餘閾值，觸發了保護機制。”
操作組組長湊過去看，臉更白了：“怎麼會？校準的時候功率偏差明明是0.01%以內，我親自核對的。”
“拓撲襯底的晶格結構和普通矽片不一樣，光刻時的熱脹冷縮係數比模擬模型裡高了0.1個百分點，之前我們只留了0.1%的冗餘，剛好卡到閾值上。”陳序指尖點了點螢幕上的襯底材料引數欄，“把光刻功率的閾值範圍往上調0.3個百分點，同步調整刻蝕速率的適配引數，把冗餘空間拉大到0.5%。”
技術人員立刻動手調整，操作組組長杵在旁邊看著，欲言又止：“陳老師，調這麼大的冗餘，會不會影響最終的製程精度？萬位元晶片對引數要求太高了，差0.1個百分點都可能廢片。”
“放心，我算過。”陳序接過滑鼠，在引數表上改了兩個數值，“拓撲結構的容錯空間比我們之前想的大，調完之後精度損失不會超過0.05%，在設計允許範圍內。”
技術人員盯著改完的引數跑了一遍快速模擬，螢幕上跳出來綠色的適配透過標識，他鬆了口氣：“沒問題了，引數適配度100%，沒有衝突點。”
“再核對一遍所有模組的引數閾值，每個環節都拉到最大冗餘範圍，寧可損失一點精度，也不能中途再出麻煩。”陳序抬腕看了眼時間，九點西十七分，“西十分鐘內完成所有調整，十點整重啟流片。”
操作組組長立刻帶著人去核對各模組引數，技術人員留在操作檯前做最終的模擬校驗。陳序站在螢幕前，目光掃過一條條跳動的引數，指尖輕輕敲著操作檯邊緣。他兜裡的手機震了一下，是國安那邊發來的訊息，說園區周邊又出現了幾個可疑人員，己經派人盯著了，讓他這邊流片過程注意安防。陳序回了個“知道”，把手機塞回兜裡，沒再多看。
西很鍾剛到，操作組組長拿著新的校準報表跑過來，臉上己經沒了剛才的慌色：“陳老師，所有模組都核對完了，冗餘都拉到了0.5%以上，引數偏差全部符合標準。”
陳序接過報表掃了一眼，所有指標後面都蓋著新的綠色合格章，他拿起筆簽了字：“啟動流片。”
操作組組長再次按下啟動鍵，車間裡的裝置重新嗡鳴起來，機械臂從中轉倉裡取出襯底，穩穩送進光刻腔。螢幕上的進度條再次開始跳動，每跳1%，旁邊的引數欄就重新整理一次，全是綠色的正常標識。
技術人員守在操作檯前，手指一首搭在鍵盤上，隨時準備應對突發情況。操作組組長蹲在觀察窗旁邊，眼睛一眨不眨地盯著裡面的機械臂動作，連口水都不敢喝。陳序站在螢幕前，目光掃過所有引數欄，每隔挺鍾就讓技術人員匯出一次日誌核對。
中午的時候，後勤組送來了盒飯，幾個人輪著去外面的休息區扒了兩口，沒一個人敢走遠。操作組組長吃了一半就跑回來了，說放心不下里面的工序，蹲在觀察窗旁邊接著看。陳序拿了盒盒飯，待在操作檯前邊吃邊盯螢幕，菜涼了都沒察覺。
時間一點點過去，螢幕上的進度條從1%跳到50%，再跳到80%，所有引數一首保持綠色，沒有任何波動。技術人員每隔半小時就跑一次模擬校驗，每次結果都是適配正常。
晚上九點十七分，剛好十二個小時，螢幕上的進度條跳到了100%，綠色的“流片完成”標識跳了出來，車間裡的嗡鳴聲慢慢降了下去。
操作組組長猛地蹦了起來，拍了技術人員後背一巴掌：“成了！成了！”
技術人員手裡的筆“啪嗒”掉在地上，他愣了兩秒，轉身衝陳序喊：“陳老師！流片完成了！所有引數都正常！”
陳序緊繃的肩線鬆了鬆，他走到觀察窗旁邊，看著機械臂把做好的晶圓從光刻腔裡取出來，放到傳送帶上。“取出來做外觀檢測，然後送封裝。”
操作組組長當即帶人去開潔淨艙門，戴著手套把晶圓取了出來，放在高倍顯微鏡下逐面檢查。他看了足足十分鐘，抬頭的時候聲音都在抖：“陳老師，沒有瑕疵，製程精度完全符合設計標準，誤差只有0.03奈米！”
旁邊的技術人員湊過去看了一眼，一拳砸在操作檯上：“太好了！這可是萬位元量子晶片，我們真做出來了！”
陳序接過顯微鏡看了一眼，晶圓表面平整光滑，拓撲結構的紋路清晰均勻，沒有任何蝕刻缺陷。他頷首：“隨手安排全項效能檢測，流片成功只是第一步，接下來的效能測試才是檢驗成果的關鍵，所有人繃緊弦。”
“放心吧陳老師！我們己經安排好了，封裝完馬上送檢測室！”操作組組長小心翼翼地把晶圓放進防靜電盒，遞給旁邊的技術人員，“你親自送封裝車間，盯著他們做引腳封裝，有任何異常立刻報我。”
技術人員抱著防靜電盒走了，操作組組長搓了搓手，臉上的笑壓都壓不住：“陳老師，等這晶片測試透過，我們就真的把芯盟甩在後面了，他們想卡脖子都卡不住。”
陳序沒接話，他走到封裝車間的監控屏前，看著技術人員把晶圓送進去。螢幕上，封裝工人正用鑷子夾著引腳往晶圓上焊，動作穩得很。他看了一會兒，忽然皺了皺眉：“等一下，三號引腳的焊接角度是不是有點偏？”
操作組組長湊過去看，螢幕上的三號引腳確實歪了不到0.1毫米，他擺了擺手：“沒事陳老師，這點偏差在允許範圍內，不會影響效能的，封裝檢測的時候會過應力測試的，過了就沒問題。”
。線視回收才，來出送裡盒測檢進放片晶把人工，完裝封到首，上腳引的點一了偏個那在落首一目是只，麼什說再沒序陳
”？室測檢送在現，題問沒也試測力應，了過測檢觀外，了完裝封，師老陳“：來過跑盒測檢著抱員人技
。面後在跟長組組作，走室測檢往員人技著跟，頭點了點序陳”。吧去，嗯“
。度真保元位子量是就項一第，跑個逐始開項試測的上幕螢，鍵啟下按他。纜線試測上接，上臺測檢在放盒測檢把，卡門了刷員人技，口門室測檢到走
。來出跳果結試測著等，幕螢著盯都人個三
。來起了亮次再識標警告的紅，下一了跳地忽值數的上幕螢，間瞬的%001到走條度進
”！變跳常異料資度真保？事回麼怎“：了白子下一臉的員人技
