趙陽沉默了片刻。他前世在晶片行業摸爬滾打了十幾年，雖然不是專門搞光刻工藝的，但各種技術問題接觸得多了，光是旁觀就積累了不少經驗。
“我去看看。明天上午飛昌城。”
趙陽說。
電話那頭安靜了大概兩秒。梁孟松原本打這個電話的目的是想讓趙陽嘗試去挖幾個阿斯麥的工程師，或者從臺積電那邊挖人。
這樣做的話代價會很高，但總比裝置停在那裡強。他完全沒想到趙陽會說“我去看看”。
不是，自家老闆雖然是天才，但什麼時候懂光刻機了？
梁孟松有些傻眼。
“老闆，你……你過來看？”
梁孟松遲疑著問道。
“這些引數校準涉及到光學對準系統和工件臺的精密調節，一般都是原廠工程師才有經驗處理…………”
梁孟松話音還沒落下就被趙陽打斷了。
“我知道。明天上午到。”
趙陽沒有多解釋。梁孟松沉默了一會兒，說了聲好。
掛了電話之後趙陽把寫到一半的論文儲存好，從衣架上拿了件外套，然後給王海發了條訊息，讓他訂明天最早的航班。
第二天上午九點，趙陽的航班降落在昌城機場。出站口外面，除了梁孟松和工廠的兩位副總之外，昌城市的幾位領導也在。張副市長站在最前面，看到趙陽從出站口走出來，立刻笑著迎了上去。
“趙博士，歡迎回昌城！上次跟你聊過晶片工廠的事，我們全市上下都特別重視這個專案。這次聽說你要親自過來處理技術問題，我就想著一定要來迎接一下。”
張副市長握著趙陽的手，語氣裡帶著幾分期待。
趙陽跟他握了握手：“張市長客氣了。”
幾個人在出站口寒暄了幾句。張副市長又提到上次討論過的優惠政策和配套宿舍的事，說市裡己經在落實了，讓趙陽放心。趙陽點了點頭，說改天有空再細聊，然後就跟梁孟松上了車。
車子駛出機場，往工廠方向開。王海坐在副駕駛，趙陽和梁孟松坐在後排。
“具體說說。”
趙陽靠在座椅上，轉頭看著梁孟松。
“問題主要集中在兩個地方。”
梁孟松開啟手裡的平板電腦，調出幾張裝置引數截圖遞給趙陽。
“第一個是套刻精度。我們目前能做到五點三奈米，二十八奈米節點要求三點五以內。第二個是光源均勻性。曝光場邊緣的劑量比中心低大概一點八個百分點，導致邊緣區域的線條寬度偏粗。”
