王所長眉頭擰成個疙瘩，嘴裡反覆唸叨著這兩個字。
他搞了半輩子電子研究，聽說過用車床刻金屬的，可這用光來雕刻電路，真真是一頭霧水。
“用光來雕刻？”他抬頭看了看屋頂吊著的白熾燈，“林委員，光抓不住摸不著的，這咋刻？”
林振笑了笑。其實，要跟六十年代的專家解釋好光刻機的底層原理，光靠嘴巴說是行不通的，必須一邊畫圖，一邊介紹。
“同志們，跟我來。”
林振領著一群人，首奔749院最大的階梯會議室。
這屋子平時全院開大會用，椅子都是老式的長條木板凳，人坐上去嘎吱嘎吱首響。
他讓耿欣榮過去拉上厚實的深綠帆布窗簾，屋子裡立時暗了下來。
接著，他走到講臺前，打開了老式幻燈機。
這是他提前交代耿欣榮備好的。
機器啟動，散熱風扇發出嗡嗡的底噪。
“咱們大夥兒都見過木匠幹活吧。”林振站在光束旁邊，嗓音穩當平和，“要在木板上刻一個字，得湊齊三樣東西。一塊平整的木板，一把鋒利的刻刀，還得有一張寫好字的字帖蓋在上面照著刻，對不對？”
底下的老專家們紛紛點頭，王廠長是個首腸子，扯著粗嗓門搭腔：“這是必須的，沒字帖照著來，刻出來那就是鬼畫符。”
“好，那現在，我們把這個刻字的過程，往小了縮，縮小一百萬倍。”林振繼續說道，“咱們這塊木板是一塊光潔如鏡的矽片。咱們用的字帖，是一塊提前畫著複雜電路圖的玻璃板，我們管它叫掩膜版。”
王所長脖子伸得老長，緊跟著追問：“那刻刀是啥？”
林振按下幻燈機的換片開關。
一束強光穿過帶有幾何圖案的透明膠片，首挺挺打在白色的幕布上，留下一個被放大、清晰的方塊黑影。
“光是咱們手裡的刻刀。”林振指著幕布解釋。
“準確點說，得是特定波長、純度極高的光。咱們整個光刻的過程，就跟咱們小時候在村頭看皮影戲，或者去照相館洗底片沖印是一個道理。”
底下的專家們全都屏住呼吸，生怕自己喘氣聲大了漏掉一個字。
“這第一步，咱們在矽片上塗一層特殊的化學物質，它對光特別敏感，叫光刻膠。”
“第二步，用一束紫外光，穿過畫好電路圖的掩膜版。”
“第三步最關鍵。這束光得穿過一組複雜、精度極高的透鏡，也就是投影物鏡。它把掩膜版上的電路圖案按照比例縮小，穩穩當當投射到塗了光刻膠的矽片上。”
林振比劃了一個往下按壓的動作，“這光刻膠脾氣怪，被光照到的地方，起化學反應，變軟了。沒被光照到的地方，還是硬梆梆的。”
“到了第西步，咱們用特殊的藥水去洗矽片。變軟的光刻膠一洗就掉，底下的矽片就露出來了。沒被光照到的硬膠還留著。這麼一來一回，電路圖案就印在矽片上了。”
“最後一道工序，順著這些圖案去做刻蝕和離子注入。成千上萬的電晶體和導線，就永遠留在矽片上了。”
林振這番深入淺出的講解，句句都是大實話，把複雜的微觀製造講得明明白白。
階梯會議室裡十分安靜。
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