“三,壽命。每一次接觸,都會對掩膜版造成不可逆的磨損。一塊昂貴的掩膜版,可能用不了幾次,就報廢了。這在未來的大規模量產中,是絕對無法接受的成本。”
林振的分析,鞭辟入裡,一針見血。
把接觸式曝光的弊端,說得清清楚楚,明明白白。
剛才還支援這個方案的專家們,都沉默了。
他們只看到了接觸式曝光的簡單,卻沒看到它背後隱藏的陷阱。
“那……那林總師您的意思是?”
有人小心翼翼的問。
“我的意思,很簡單。”
林振拿起粉筆,在黑板上,畫了兩條並行的線。
“兩條腿走路!”
“第一條腿,是剛才大家說的,我們立刻動手,用最快的速度,造一臺接觸式曝光平臺。它的任務,是為了給我們化工所的同志們,提供一個測試和改進光刻膠、顯影液、刻蝕液的實驗工具。同時,也為我們建立第一代的潔淨室環境,積累經驗。”
“第二條腿,”林振的目光,掃過光學所和精密機械廠的專家們,“我們同步,啟動1:1投影光學系統,和配套的工件臺系統的攻關!”
“我不要你們一步就做出能縮小4倍的鏡頭,也不要你們一步就實現奈米級的精度。”
“我們第一代實用型光刻機的目標是1:1的等比例投影,能穩定實現10微米線寬的加工能力!實驗目標,是衝刺8微米!”
“這個目標,比首接上最先進的技術,要現實得多。同時,它也徹底避開了接觸式曝光的所有缺陷,為我們未來的技術升級,留下了一條清晰的、可持續發展的道路。”
“我們既要腳踏實地,解決當前的‘有無’問題。也要仰望星空,為未來的‘好壞’問題,做好佈局!”
林振的話,擲地有聲,邏輯清晰,既照顧了現實,又指明瞭未來。
所有人都被他這種成熟、穩健,同時又不失魄力的總師風範,給徹底折服了。
“我同意!”
“這個方案好!兩條腿走路,穩!”
“既解決了當前的問題,又為未來指明瞭方向,高!實在是高!”
會議室裡,響起了熱烈的掌聲。
這一次,再沒任何人提出異議。
一個小時後。
一份由801專案組全體核心專家,共同簽字的《801工程第一階段聯合攻關任務書》,擺在了盧子真的辦公桌上。
看著任務書上,一個個熟悉的,代表著龍國科技界最高水平的名字,和他們背後,一個個清晰、具體、又充滿挑戰的任務。
盧子真深知,龍國的半導體事業,這艘承載著無數人希望的巨輪,在經歷了無數的徘徊和爭論之後,終於在林振這位天才舵手的引領下,找到了正確的航向。
“鳴笛,啟航!”
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