《蘇聯撤專?我反手掏出人工智能!》第118章 第一批硅晶體管出來了(1)

作者:縱歌萬里游·26天前

這說明問題不在工藝手法上,方培生已經把能調的引數都調過了,還是不行,那就不是操作的問題。

他合上記錄本,站起來,看了方培生一眼。

方培生靠在操作檯邊上,雙手插在工裝口袋裡,眼睛盯著那三排廢片,嘴唇抿的緊緊的。

陳序年頭一回在方培生臉上看到這種表情,焦躁,和找不到方向的急。

“先停一停。”陳序年說。

方培生抬頭看他。

“我晚上想,明天給你方案。”

方培生沒有問他憑什麼能想出來,只是點了下頭,說了句好,轉身把三批廢片歸檔。

陳序年出了實驗室,走回宿舍的路上,腦子裡已經在轉了。

三批都是針孔,工藝引數不同但結果相同,說明真正的變數不在那幾個引數裡,那變數在哪?

他把氧化工序的流程在腦子裡走了一遍:矽片放入石英管爐,通入氧氣,高溫下矽和氧反應,表面生成二氧化矽薄膜,整個過程裡,除了溫度和時間,唯一的外部輸入就是氧氣本身。

氧氣本身。

他心裡有了方向。

當晚,他把門插好,窗簾拉嚴,從床板暗格裡摸出筆記型電腦,開機,登入,打字:

“矽片熱氧化過程中,氧化層出現大量針孔缺陷,可能原因是什麼?如何解決?”

崑崙的回覆很快。

陳序年盯著螢幕,一行一行的往下看。

答案印證了他的判斷:氧化用氧氣中的微量水蒸氣是針孔的主要原因,水分子在高溫下會在矽表面形成羥基,破壞氧化層的緻密性,導致區域性生長不均勻,產生針孔。

解決辦法是,在氧氣進入爐管之前,用五氧化二磷做深度乾燥,將水汽含量降到百萬分之一以下。

他把關鍵資料抄進手抄筆記本,關機,收好。

躺在床上,他想了一下怎麼把這個資訊交出去,不能直接說是我查到的,那說不通。

最自然的方式是把方向給出來,讓何建軍去配乾燥裝置,配氣體乾燥劑正好是化工那邊的活。

……

第二天一早,他去找何建軍。

何建軍正在實驗室裡做三氯氫矽的常規監測,見陳序年進來,放下手裡的試管,擦了擦手。

“找我?”

“建軍,幫個忙。”

“什麼事,你說。”

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