這說明問題不在工藝手法上,方培生已經把能調的引數都調過了,還是不行,那就不是操作的問題。
他合上記錄本,站起來,看了方培生一眼。
方培生靠在操作檯邊上,雙手插在工裝口袋裡,眼睛盯著那三排廢片,嘴唇抿的緊緊的。
陳序年頭一回在方培生臉上看到這種表情,焦躁,和找不到方向的急。
“先停一停。”陳序年說。
方培生抬頭看他。
“我晚上想,明天給你方案。”
方培生沒有問他憑什麼能想出來,只是點了下頭,說了句好,轉身把三批廢片歸檔。
陳序年出了實驗室,走回宿舍的路上,腦子裡已經在轉了。
三批都是針孔,工藝引數不同但結果相同,說明真正的變數不在那幾個引數裡,那變數在哪?
他把氧化工序的流程在腦子裡走了一遍:矽片放入石英管爐,通入氧氣,高溫下矽和氧反應,表面生成二氧化矽薄膜,整個過程裡,除了溫度和時間,唯一的外部輸入就是氧氣本身。
氧氣本身。
他心裡有了方向。
當晚,他把門插好,窗簾拉嚴,從床板暗格裡摸出筆記型電腦,開機,登入,打字:
“矽片熱氧化過程中,氧化層出現大量針孔缺陷,可能原因是什麼?如何解決?”
崑崙的回覆很快。
陳序年盯著螢幕,一行一行的往下看。
答案印證了他的判斷:氧化用氧氣中的微量水蒸氣是針孔的主要原因,水分子在高溫下會在矽表面形成羥基,破壞氧化層的緻密性,導致區域性生長不均勻,產生針孔。
解決辦法是,在氧氣進入爐管之前,用五氧化二磷做深度乾燥,將水汽含量降到百萬分之一以下。
他把關鍵資料抄進手抄筆記本,關機,收好。
躺在床上,他想了一下怎麼把這個資訊交出去,不能直接說是我查到的,那說不通。
最自然的方式是把方向給出來,讓何建軍去配乾燥裝置,配氣體乾燥劑正好是化工那邊的活。
……
第二天一早,他去找何建軍。
何建軍正在實驗室裡做三氯氫矽的常規監測,見陳序年進來,放下手裡的試管,擦了擦手。
“找我?”
“建軍,幫個忙。”
“什麼事,你說。”
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