《開局摩配廠,結局南天門計劃!》第169章 搶佔EUV光刻機配套專利!(1)

作者:幼貓9527·10天前

“光刻機的問題,我這邊會聯合國內高校、研究所、一起解決!”

韓文韜對邱雲說道:“你放心,光刻機不是沒辦法追,沒你想象中的那麼難!”

“即便是現在,【北辰】公司也己經有很多技術積累了!”

“你說的12寸晶圓廠自動物料搬運系統,還有矽片問題……我年後聯合【北辰精密】解決這方面的問題!”

“保證在晶圓廠投入使用之前,將問題解決。”

目前12英寸晶圓廠的自動物料搬運系統,全球也是剛剛投入使用。

主要的問題還是精度!

以及——潔淨度!

精度自然不用多說,涉及到晶片半導體,哪怕是搬運物料,矽片取送,要求都極高!

不僅僅是精度,還要穩定!

潔淨度自然不用多說。

一粒微小塵埃落在晶圓上,就會造成電路短路、斷路,首接報廢整片晶圓。

整個晶圓廠車間,潔淨度要求是:ISO5,百級。

也就是:每立方英尺空氣中≥0.5μm灰塵顆粒≤100顆。

核心光刻裝置內部晶圓微環境,潔淨度需要達到:ISO4——十級!

也就是:每立方英尺空氣中≥0.5μm灰塵顆粒≤10顆。

這種潔淨度下,自動物料搬運系統,無論你怎麼做……地上走?還是搞在空中?

導軌之間的摩擦,都可能產生塵埃。

所以整個自動物料系統要求極高!!

才值得邱雲拿出來說。

但是對於韓文韜來說,都不是問題。

製作出耐磨材料,加上【北辰精密】的高精度裝置和控制系統,完成這個自動物料搬運系統難度不大。

至於矽片?

這個更簡單!

【原子重組】的能力,首接從原子微觀視角整合矽片的製作工程:

石英砂還原為冶金級矽;

在單晶爐內將多晶矽熔化,用籽晶緩慢旋轉提拉,生長成圓柱形的單晶矽錠;

在這些過程中,原子的排列和變化。

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