“光刻機的問題,我這邊會聯合國內高校、研究所、一起解決!”
韓文韜對邱雲說道:“你放心,光刻機不是沒辦法追,沒你想象中的那麼難!”
“即便是現在,【北辰】公司也己經有很多技術積累了!”
“你說的12寸晶圓廠自動物料搬運系統,還有矽片問題……我年後聯合【北辰精密】解決這方面的問題!”
“保證在晶圓廠投入使用之前,將問題解決。”
目前12英寸晶圓廠的自動物料搬運系統,全球也是剛剛投入使用。
主要的問題還是精度!
以及——潔淨度!
精度自然不用多說,涉及到晶片半導體,哪怕是搬運物料,矽片取送,要求都極高!
不僅僅是精度,還要穩定!
潔淨度自然不用多說。
一粒微小塵埃落在晶圓上,就會造成電路短路、斷路,首接報廢整片晶圓。
整個晶圓廠車間,潔淨度要求是:ISO5,百級。
也就是:每立方英尺空氣中≥0.5μm灰塵顆粒≤100顆。
核心光刻裝置內部晶圓微環境,潔淨度需要達到:ISO4——十級!
也就是:每立方英尺空氣中≥0.5μm灰塵顆粒≤10顆。
這種潔淨度下,自動物料搬運系統,無論你怎麼做……地上走?還是搞在空中?
導軌之間的摩擦,都可能產生塵埃。
所以整個自動物料系統要求極高!!
才值得邱雲拿出來說。
但是對於韓文韜來說,都不是問題。
製作出耐磨材料,加上【北辰精密】的高精度裝置和控制系統,完成這個自動物料搬運系統難度不大。
至於矽片?
這個更簡單!
【原子重組】的能力,首接從原子微觀視角整合矽片的製作工程:
石英砂還原為冶金級矽;
在單晶爐內將多晶矽熔化,用籽晶緩慢旋轉提拉,生長成圓柱形的單晶矽錠;
在這些過程中,原子的排列和變化。
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