那裡有從蘇聯進口的擴散爐,溫控精度正負一度。
有蔡司的光學顯微鏡,能放大到一千倍。有超淨工作臺,有去離子水系統,有整套的化學試劑櫃,有專門的氣體管道......
而這裡,只有一間舊倉庫,一臺改造的陶瓷窯爐,幾張木板桌,幾瓶試劑,和一個用手工磨出來的掩膜版。
他站在門口,兩隻手垂在身體兩側,凍瘡裂開的地方還滲著血珠,但他渾然不覺。
林同志,這就是……預研車間?
孟昭祥沉默了很久,然後慢慢走進去,在木板桌前坐下。
他拿起一片矽片,對著從窗戶縫裡漏進來的光看了看,又放下,手指上的凍瘡還在滲血,捏著矽片的動作卻格外輕。
林同志,我跟你說實話。
孟昭祥的聲音很低:
我三年沒碰過實驗室了。在中科院的時候,我用的擴散爐是蘇聯進口的,溫控精度正負一度。現在這個窯爐……
他頓了頓,沒有再說下去。
林大江心中瞭然,只在他對面坐下,也不說話,只看著他。
許久,孟昭祥終於繼續開口了:
我今年五十二了。三年砍樹,手生了,腦子也鈍了。你們搞的這些,氣流導板、光刻膠、擴散工藝……我在紙上算過,但從來沒在這種條件下做過實驗。
他頓了頓,嘴唇動了動,又停了下來,一副欲言又止的模樣,但最後還是開了口:
我怕我做不好。我怕我辜負了你的信任。
林大江看著孟昭祥,沉默了兩秒,然後站起來,走到窯爐前面,伸手摸了摸爐壁,這才開口:
孟老師,這個窯爐,上個月還是一臺燒碗的陶瓷窯。溫控精度正負六十度,連擴散工藝的門檻都摸不到。
他轉過身,看著孟昭祥,沉聲道:
我帶著錢友德,改了溫控箱,換了熱電偶,校準了三次,才把溫控精度拉到正負五度。
錢友德燒了一輩子陶瓷,第一次聽說擴散工藝四個字的時候,問我半導體是個啥。
我告訴他,你們以前燒的是碗和盤子,以後燒的是中國晶片的未來。
他走回桌前,拿起那塊掩膜版基板:
趙長根,農機廠廠長,一個修拖拉機的。這塊基板是他用手工磨出來的,表面粗糙度零點零八微米。他磨了三天,手指上的皮都磨掉了一層。
他把基板放回桌上,看著孟昭祥:
孟老師,設計晶片的,不只是你一個人。
在這個車間裡,燒窯爐的沒學過半導體,磨掩膜版的沒學過光學,調光刻膠的沒學過化學。
我們這群門外漢,憑著一股不服輸的勁,硬是把整套工藝鏈路推到了第一次擴散驗證。
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