我帶著團隊試了三個月，調整了三十多種聚合物配比，始終突破不了。”
程新彤有些失落，她沒想到自己帶領的團隊，還真就遲遲沒法解決這個問題。
自己好歹從校園出來後，也從事這方面的研究二十年。
結果科技就是這樣，突破不了，就是沒法突破。
稍作停頓後，她繼續往下分析。
“第三，敏感度。”程新彤的聲音帶上了一絲疲憊，“13nm製程用的光源波長極短，能量密度很高。我們的光刻膠要麼敏感度不夠，曝光時間太長影響產能；
要麼敏感度上去了，但又會出現嚴重的產酸擴散，導致圖案模糊。
這個平衡點，我找了國內三個頂尖團隊會診，都沒給出可行方案。”
“我也請教過導師……導師一時間也沒有什麼建議。”程新彤苦澀的說道，“只說需要多嘗試，用時間來試錯。”
程新彤面露無奈，時間，她現在最缺的就是時間！
自從跟光電集團合併後，強強聯合，公司的業務方面需要她擔心的並不多，因此研究資金也豐裕了不少。可是如果再遲遲沒法突破。
跟不上櫻花國的前沿光刻膠步伐，那恐怕將會錯過這個千載難逢的機會。
特別是紫晶工廠作為自研光刻機的機構，一旦對南彤光電失望，選擇支援其他的光刻膠，那缺乏後續持續資金的投研，恐怕將會被淘汰。
旁邊一位戴眼鏡的男研究員補充道：“程總，還有缺陷率的問題。上週測試的批次，顯影后缺陷密度還在30個/平方釐米以上，紫晶那邊要求低於5個。”
程新彤點了點頭，看向歐皇妲：“小師妹你看，解析度、LWR、敏感度、缺陷率，每一個都是死結。
現在紫晶那邊的採購部己經放話了，如果三個月內拿不出達標的小批次樣品，他們就要考慮在跟其他的廠家合作，支援其他廠家的光刻膠研究。
甚至……他們要自己展開研究。師姐我也是沒辦法了。”
程新彤無奈的說著。
會議室裡安靜了幾秒。
秦嵐在一邊如聽天書，但她心裡覺得：“這不會是紫晶工廠為了刺激新彤故意放出狠話吧？目前國內最頂級的就是新彤，再支援其他廠家，那不是要耗費更多時間麼。”
歐皇妲放下奶茶杯，走到大螢幕前，目光掃過那些密密麻麻的引數表格和分子結構式。
“師姐，你們的聚合物骨架用的是甲基丙烯酸酯類吧？”歐皇妲忽然開口。
程新彤跟著她的目光，立即回答道：“對，PMMA衍生物，目前國內最成熟的體系。”
“光酸產生劑呢？三芳基硫鎓鹽？”
“是。”
“淬滅劑用的三級胺？”
“沒錯。”程新彤眼睛亮了一下，“小師妹你怎麼一眼就看出來了？”
